[发明专利]微型压电泵

权利要求书

1.一种微型压电泵，其特征在于，包含：

一管板，具有一入流管、一出流管、一入流通道、一出流通道、一正压腔室、一负压腔室、一容置腔室、一脊部、一入流开口以及一出流开口，该入流通道设置于该入流管内并贯穿该入流管，该出流通道设置于该出流管内并贯穿该出流管，该入流开口连通于该入流通道以及该负压腔室之间，该入流开口设置于该脊部上，并且该出流通道与该正压腔室相连通，该容置腔室设置于该正压腔室以及该负压腔室之间，该脊部凸设于该管板内，该容置腔室形成于该脊部中；

一盖板，封盖于该管板上，并具有一凹部以及一围绕该凹部之外周部，其中该盖板的该外周部围绕该脊部；以及

一泵核心模块，容置于该管板的该容置腔室中，并被该盖板封闭在该管板中，借此，该正压腔室形成于该泵核心模块与该管板之间，该盖板的该凹部的一深度大于该管板的该脊部的一高度，借此该负压腔室得以形成于该盖板以及该泵核心模块之间；

其中，该泵核心模块汲取该负压腔室内的流体进入该泵核心模块后，流入该正压腔室，接着再从该出流通道流出该管板外，同时，外部流体亦会自该入流通道流入该负压腔室内，以完成流体的传输。

2.如权利要求1所述的微型压电泵，其特征在于，该出流开口连通于该出流通道以及该正压腔室之间。

3.如权利要求1所述的微型压电泵，其特征在于，该入流通道为一弯折通道。

4.如权利要求1所述的微型压电泵，其特征在于，该入流管以及该出流管设置于该管板的同一侧。

5.如权利要求1所述的微型压电泵，其特征在于，该入流管以及该出流管设置于该管板的不同侧。

6.如权利要求5所述的微型压电泵，其特征在于，该入流管以及该出流管设置于该管板的相对两侧。

7.如权利要求1所述的微型压电泵，其特征在于，该泵核心模块包含：

一进流板，具有至少一进流孔、至少一汇流排槽及一汇流腔室，其中该进流孔供导入流体，并贯通该汇流排槽，该汇流排槽与该汇流腔室相连通，借此，该进流孔所导入的流体得以通过该汇流排槽后汇流至该汇流腔室中；

一共振片，接合于该进流板上，具有一中空孔、一可动部及一固定部，该中空孔位于该共振片中心处，并与该进流板的该汇流腔室的位置相对应，该可动部设置于该中空孔周围，而该固定部设置于该共振片的外周缘部分并固定接合在该进流板上；以及

一压电致动器，接合于该共振片上；

其中，该共振片与该压电致动器之间形成一共振腔室，借此，当该压电致动器受驱动时，该压电致动器与该共振片的该可动部产生共振，流体由该进流板的该进流孔导入，通过该汇流排槽后汇集至该汇流腔室中，接着再流经该共振片的该中空孔，达成流体的传输。

8.如权利要求7所述的微型压电泵，其特征在于，该压电致动器包含：

一悬浮板，为一正方形形态，可弯曲振动；

一外框，环绕设置于该悬浮板之外侧；

至少一支架，连接于该悬浮板与该外框之间，用以提供该悬浮板弹性支撑的支撑力；以及

一压电元件，具有一边长，该边长小于或等于该悬浮板的一边长，且该压电元件贴附于该悬浮板的一表面上，用以被施加电压以驱动该悬浮板弯曲振动。

9.如权利要求8所述的微型压电泵，其特征在于，该泵核心模块还包含一第一绝缘片、一导电片及一第二绝缘片，其中该进流板、该共振片、该压电致动器、该第一绝缘片、该导电片及该第二绝缘片依序堆叠设置。

10.如权利要求9所述的微型压电泵，其特征在于，该压电致动器还包含一第一导电接脚，从该外框之外缘凸伸，该导电片具有一第二导电接脚，自该导电片之外缘凸伸，而该管板具有多个接脚开口，该第一导电接脚以及该第二导电接脚分别自该多个接脚开口凸伸至该管板外。

11.如权利要求7所述的微型压电泵，其特征在于，该压电致动器包含：

一悬浮板，为一正方形形态，可弯曲振动；

一外框，环绕设置于该悬浮板之外侧；

至少一支架，连接于该悬浮板与该外框之间，用以提供该悬浮板弹性支撑，并使该悬浮板的一表面与该外框的一表面形成一非共平面结构，且使该悬浮板的一表面与该共振片之间形成一腔室空间；以及

一压电元件，具有一边长，该边长小于或等于该悬浮板的一边长，且该压电元件贴附于该悬浮板的一表面上，用以施加电压以驱动该悬浮板弯曲振动。