[发明专利]一种含金属元素的感光性聚合物、组合物及其应用在审
申请号: | 201910388391.1 | 申请日: | 2019-05-10 |
公开(公告)号: | CN111913350A | 公开(公告)日: | 2020-11-10 |
发明(设计)人: | 邓海;杨振宇;钱晓飞 | 申请(专利权)人: | 珠海雅天科技有限公司 |
主分类号: | G03F7/004 | 分类号: | G03F7/004 |
代理公司: | 广州嘉权专利商标事务所有限公司 44205 | 代理人: | 俞梁清 |
地址: | 519000 广东省珠海市横琴新区环*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 金属元素 感光性 聚合物 组合 及其 应用 | ||
1.一种含金属元素的感光性聚合物,其特征在于:所述感光性聚合物中至少包含以下结构单元:
1)能够产生酸性基团的结构单元;
2)含有金属离子的结构单元;
3)具有鎓盐基团的结构单元。
2.根据权利要求1所述的含金属元素的感光性聚合物,其特征在于:所述结构单元1)、2)、3)的摩尔比为(1~95):(4~99):(1~5)。
3.根据权利要求1所述的含金属元素的感光性聚合物,其特征在于:所述结构单元1)包括能够在酸性条件下水解产生酸性基团的结构单元;优选地,所述能够在酸性条件下水解产生酸性基团的结构单元中含有酯基、醚基和/或环氧基;更优选地,所述结构单元1)具有选自以下通式表示的结构中的一种或多种结构:
通式(1A)、(1B)、(1C)中,Ra1、Ra2、Ra3、Ra1’、Ra2’、Ra3’、Ra1”、Ra2”、Ra3”和Ra4”代表取代基;
其中,Ra1、Ra1’、Ra1”选自下组:无、全卤代或部分卤代的C1-C20直链烷基、全卤代或部分卤代的C1-C10分支烷基、取代或未取代的C6-C20环状烷基、取代或未取代的含1-9个Si原子的C1-C20直链烷基、取代或未取代的含1-9个Si原子的C1-C20支链烷基、取代或未取代的含1-9个Si原子的C3-C20杂环烷基;
Ra2、Ra2’和Ra4”选自下组:取代或未取代的C1-C30直链或分支烷基、取代或未取代的C1-C30烷氧基、取代或未取代的C3-C30环状烷基、取代或未取代的C3-C30环状烷氧基、取代或未取代的含1-9个Si原子的C1-C20直链烷基、取代或未取代的含1-9个Si原子的C1-C20支链烷基、取代或未取代的含1-9个Si原子的C3-C20杂环烷基;
Ra2”选自C3-C10的环氧基;
Ra3、Ra3’、Ra3”为氢或甲基;
其中,所述取代指基团的一个或多个氢原子被选自下组的一个或多个取代基取代:氧代(=O)、卤素(优选为氟)、羟基、羧基、未取代或被羟基或卤素取代的C1-C6直链或分支烷基、未取代或被羟基或卤素取代的C6-C16芳基。
4.根据权利要求1所述的含金属元素的感光性聚合物,其特征在于:所述所述结构单元2)包括含有金属羧酸盐结构的结构单元;优选地,所述结构单元2)具有选自以下通式表示的结构中的一种或多种结构:
通式(2A)、(2B)、(2C)、(2D)中,Rb1、Rb2、Rb1’、Rb2’、Rb3’、Rb1”、Rb2”、Rb3”、Rb4”、Rb1”’、Rb2”’、Rb3”’、Rb4”’和Rb5”’代表取代基;
其中,Rb1、Rb1’、Rb1”和Rb1”’选自以下组中的一种或多种:全卤代或部分卤代的C1-C10直链烷基,全卤代或部分卤代的C1-C10分支烷基,取代或未取代的C3-C30环状烷基;
Rb2、Rb2’、Rb2”和Rb2”’为氢或甲基;
Rb3’、Rb3”、Rb4”、Rb3”’、Rb4”’和Rb5”’选自以下组中的一种或多种:取代或未取代的C1-C12直链或分支烷基或取代或未取代的C6-C20芳基;
其中,所述取代指基团的一个或多个氢原子被选自下组的一个或多个取代基取代:氧代(=O)、卤素(优选为氟)、羟基、羧基、未取代或被羟基或卤素取代的C1-C6直链或分支烷基、未取代或被羟基或卤素取代的C6-C10芳基;
M表示金属元素,所述金属元素选自以下组中的一种或多种:锂、钠、镁、钾、铷、铁、钴、镍、铜、锌、铟、锡、锑、铯、铪、锆。
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