[发明专利]反应管组合件的输送方法

说明书

本发明提供一种能够抑制输送反应管组合件时的振动的技术。本发明的一个方式的应管单元的输送方法是沿竖式的反应管的内壁面的长度方向与上述内壁面隔开间隔地设置有气体供给管的反应管组合件的输送方法，包括：在上述反应管的内部配置能够缓冲上述内壁面与上述气体供给管的碰撞的缓冲部件的步骤；将安装有上述缓冲部件的上述反应管组合件隔着消振部件载置在台车上的步骤；和使上述台车移动来输送上述反应管组合件的步骤。

技术领域

本发明涉及一种反应管组合件的输送方法。

背景技术

已知一种台车，其能够载置并输送作为半导体制造装置的构成部件的石英制的反应管(例如，参照专利文献1)。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开平10-98002号公报

发明内容

发明要解决的技术问题

在上述的台车中，在输送将石英制的气体供给管、石英保护管型的热电偶安装在反应管而组装成的反应管组合件的情况下，存在因振动而反应管组合件破损的可能性。

本发明提供一种能够抑制输送反应管组合件时的振动的技术。

用于解决技术问题的技术方案

本发明的一个方式的应管单元的输送方法是沿竖式的反应管的内壁面的长度方向与上述内壁面隔开间隔地设置有气体供给管的反应管组合件的输送方法，包括：在上述反应管的内部配置能够缓冲上述内壁面与上述气体供给管的碰撞的缓冲部件的步骤；将安装有上述缓冲部件的上述反应管组合件隔着消振部件载置在台车上的步骤；和使上述台车移动来输送上述反应管组合件的步骤。

发明效果

依照本发明，能够抑制输送反应管组合件时的振动。

附图说明

图1是表示竖式热处理装置的结构例的截面图一。

图2是表示竖式热处理装置的结构例的截面图二。

图3是表示反应管组合件的输送方法的一例的流程图。

图4是表示缓冲部件的结构例的截面图一。

图5是表示缓冲部件的结构例的截面图二。

图6是表示限制部件的结构例的截面图。

图7是表示限制部件的结构例的立体图

图8是表示台车的结构例的图一。

图9是表示台车的结构例的图二。

附图标记说明

34 反应管

44 内管

46 外管

76、78、80 气体供给管

200 缓冲部件

300 限制部件

500 台车

505 反应管支承部

505a 消振部件

506 升降机构。

具体实施方式

以下，参照附图，对本发明的不限定性质的例示的实施方式进行说明。在所附的全部附图中，对相同或者相应的部件或零件，标注相同或者对相应附图标记，省略重复的说明。

(竖式热处理装置)