[发明专利]一种在线自检测压电加速度传感器在审
| 申请号： | 201910392993.4 | 申请日： | 2019-05-13 |
| 公开（公告）号： | CN110045150A | 公开（公告）日： | 2019-07-23 |
| 发明（设计）人： | 陶逢刚;赵宝林;刘显学;唐彬;张凤田;刘天国 | 申请（专利权）人： | 中国工程物理研究院电子工程研究所 |
| 主分类号： | G01P15/09 | 分类号： | G01P15/09;G01P21/00 |
| 代理公司： | 北京高沃律师事务所 11569 | 代理人： | 程华 |
| 地址： | 621000 四*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 压电单元 绝缘层 柱形凸起 预紧螺母 自检测 底座 驱动 压电加速度传感器 敏感 传感器状态 加速度测量 复合功能 健康诊断 伸缩形变 压力信号 一体结构 预紧压力 传感器 螺纹 串套 轴向 施加 检测 | ||
1.一种在线自检测压电加速度传感器，其特征在于，包括基座(6)、第一绝缘层(5)、第二绝缘层(4)、第三绝缘层(3)、敏感压电单元(7)、驱动压电单元(8)、惯性质量(2)和预紧螺母(1)；
所述基座(6)包括一个底座和底座上方一个柱形凸起，所述底座和柱形凸起为一体结构，所述柱形凸起上有螺纹；
所述敏感压电单元(7)用于将压力信号转变成电信号；所述驱动压电单元(8)用于根据电信号发生伸缩形变；
所述第一绝缘层(5)、敏感压电单元(7)、第二绝缘层(4)、驱动压电单元(8)、第三绝缘层(3)、惯性质量(2)和预紧螺母(1)沿所述柱形凸起的轴向依次串套在所述柱形凸起上，所述预紧螺母(1)用于施加初始预紧压力。
2.根据权利要求1所述的一种在线自检测压电加速度传感器，其特征在于，所述驱动压电单元(8)为基于低温共烧技术的多层压电陶瓷。
3.根据权利要求1所述的一种在线自检测压电加速度传感器，其特征在于，所述敏感压电单元(7)为单层压电陶瓷。
4.根据权利要求1所述的一种在线自检测压电加速度传感器，其特征在于，还包括引线，用于连接所述敏感压电单元(7)输出端。
5.根据权利要求1-4任一项所述的一种在线自检测压电加速度传感器，其特征在于，还包括引线，用于连接所述驱动压电单元(8)输入端。
6.根据权利要求1所述的一种在线自检测压电加速度传感器，其特征在于，所述第一绝缘层(5)为绝缘陶瓷。
7.根据权利要求1所述的一种在线自检测压电加速度传感器，其特征在于，所述第二绝缘层(4)为绝缘陶瓷。
8.根据权利要求1所述的一种在线自检测压电加速度传感器，其特征在于，所述第三绝缘层(3)为绝缘陶瓷。
9.根据权利要求1所述的一种在线自检测压电加速度传感器，其特征在于，所述基座(6)为金属材料。
10.根据权利要求1所述的一种在线自检测压电加速度传感器，其特征在于，所述惯性质量(2)为金属材料。
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