[发明专利]湿法刻蚀药液成分检测装置及方法在审
| 申请号： | 201910393251.3 | 申请日： | 2019-05-13 |
| 公开（公告）号： | CN110132882A | 公开（公告）日： | 2019-08-16 |
| 发明（设计）人： | 王玉伟;顾立勋;苏界 | 申请（专利权）人： | 长江存储科技有限责任公司 |
| 主分类号： | G01N21/3577 | 分类号： | G01N21/3577;H01L21/67 |
| 代理公司： | 北京汉之知识产权代理事务所(普通合伙) 11479 | 代理人： | 陈敏 |
| 地址： | 430074 湖北省武汉市洪山区东*** | 国省代码： | 湖北;42 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 取样管路 成分检测装置 湿法刻蚀 湿法刻蚀设备 成分检测器 成分检测 取样管 红外光谱分析 产品良率 湿法药液 实时监测 一端连接 引入 | ||
1.一种湿法刻蚀药液成分检测装置，其特征在于，包括：
取样管路，所述取样管路的一端连接至湿法刻蚀设备，用于将所述湿法刻蚀设备中的药液导入所述取样管路中；
成分检测器，设置于所述取样管路上，用于对所述取样管路中的所述药液进行成分检测。
2.根据权利要求1所述的湿法刻蚀药液成分检测装置，其特征在于：所述成分检测器包括红外光谱检测器。
3.根据权利要求1所述的湿法刻蚀药液成分检测装置，其特征在于：所述取样管路的另一端也连接至湿法刻蚀设备，用于将所述取样管路中的所述药液导出至所述湿法刻蚀设备。
4.根据权利要求3所述的湿法刻蚀药液成分检测装置，其特征在于，还包括：
循环泵，设置于所述取样管路上，用于将所述药液抽取至所述取样管路中；
过滤器，设置于所述取样管路上，用于对所述取样管路中的所述药液进行过滤；
加热器，设置于所述取样管路上，用于对所述取样管路中的所述药液进行加热。
5.根据权利要求4所述的湿法刻蚀药液成分检测装置，其特征在于：所述循环泵设置于所述取样管路导入所述药液的一端与所述加热器之间的所述取样管路上；所述成分检测器设置于所述加热器与所述循环泵之间的所述取样管路上；所述过滤器设置于所述取样管路导出所述药液的一端与所述加热器之间的所述取样管路上。
6.根据权利要求1所述的湿法刻蚀药液成分检测装置，其特征在于，还包括监测分析模块，所述监测分析模块连接所述成分检测器，用于实时监测所述成分检测器的成分检测结果，并判断所述药液的成分是否符合规格。
7.一种湿法刻蚀系统，其特征在于，包括：
湿法刻蚀装置，用于湿法刻蚀；
权利要求1至6任意一项所提供的所述湿法刻蚀药液成分检测装置，所述湿法刻蚀药液成分检测装置安装于湿法刻蚀装置上。
8.一种湿法刻蚀药液成分检测方法，其特征在于，包括如下步骤：
提供一取样管路，所述取样管路的一端连接至湿法刻蚀设备，并将所述湿法刻蚀设备中的药液导入所述取样管路中；
对所述取样管路中的所述药液进行成分检测。
9.根据权利要求8所述的湿法刻蚀药液成分检测方法，其特征在于：对所述取样管路中的所述药液进行成分检测的方法包括红外光谱分析。
10.根据权利要求8所述的湿法刻蚀药液成分检测方法，其特征在于：在对所述取样管路中的所述药液进行成分检测后，还包括通过所述取样管路的另一端将所述取样管路中的所述药液导出至所述湿法刻蚀设备的步骤。
11.根据权利要求10所述的湿法刻蚀药液成分检测方法，其特征在于：在将所述取样管路中的所述药液导出至所述湿法刻蚀设备前，还包括对所述取样管路中的所述药液进行加热和过滤的步骤。
12.根据权利要求8所述的湿法刻蚀药液成分检测方法，其特征在于：在对所述取样管路中的所述药液进行成分检测后，还包括实时监测所述成分检测器的成分检测结果，并判断所述药液的成分是否符合规格的步骤。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于长江存储科技有限责任公司，未经长江存储科技有限责任公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201910393251.3/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
