[发明专利]真空贴膜机

权利要求书

1.一种真空贴膜机，其特征是：包括机壳（11）以及设置于所述机壳（11）内上部的真空腔体（5），在机壳（11）上设置能与真空腔体（5）适配连接的腔盖（2）；在真空腔体（5）内设置用于支撑待贴膜晶圆（8）的晶圆托盘（9），在真空腔体（5）内还设置用于支撑膜（17）的晶圆框架（7），所述晶圆框架（7）位于晶圆托盘（9）的上方；

在机壳（11）内还设置能驱动晶圆托盘（9）升降的托盘升降驱动机构，真空腔体（5）内处于所需的真空状态时，通过托盘升降驱动机构驱动晶圆托盘（9）向靠近晶圆框架（7）的方向运动，能使得晶圆（8）与膜（17）接触，且托盘升降驱动机构驱动晶圆托盘（9）后能将接触后的晶圆（8）、膜（17）压紧在腔盖（2）上。

2.根据权利要求1所述的真空贴膜机，其特征是：所述腔盖（2）铰接在真空腔体（5）上，在真空腔体（5）内的上部设置密封圈（6）。

3.根据权利要求1所述的真空贴膜机，其特征是：在所述真空腔体（5）内设置用于与托盘升降驱动机构适配连接的推板（20），所述推板（20）位于晶圆托盘（9）的下方，所述推板（20）上设置若干均匀分布的托盘导向柱（19）与晶圆托盘（9）连接，在托盘导向柱（19）上套有导向柱弹簧（18），所述导向柱弹簧（18）位于晶圆托盘（9）与推板（20）之间，托盘升降驱动机构通过驱动推板（20）升降后能带动晶圆托盘（9）同步升降。

4.根据权利要求3所述的真空贴膜机，其特征是：在所述真空腔体（5）内还设置用于对推板（20）升降导向的推板升降导向柱（21）。

5.根据权利要求3或4所述的真空贴膜机，其特征是：所述托盘升降驱动机构包括设置于机壳（11）内的气缸（24），所述气缸（24）位于真空腔体（5）的下方，气缸（24）的活塞杆通过推杆（23）与推板（20）连接，在推杆（23）上套设有能密封推杆（23）与真空腔体（5）结合部的焊接波纹管（22）。

6.根据权利要求1所述的真空贴膜机，其特征是：在所述机壳（11）的底端设置若干均匀分布的可调底座（16）。

7.根据权利要求1所述的真空贴膜机，其特征是：在所述机壳（11）上设置有温控仪（12）、真空表（10）、真空开关（14）、压力调节旋钮（13）以及升降调节开关（15）。

8.根据权利要求1所述的真空贴膜机，其特征是：在腔盖（2）上设置拉手（1）。