[发明专利]一种管状铬靶材的制备方法

权利要求书

1.一种管状铬靶材的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：

过渡层的制备：在背管的外表面喷涂一层过渡层，所述过渡层为纯Ni、NiCr合金或NiCrAl合金层；

包套的制备：在上述步骤所得背管的过渡层的一侧形成一个带空腔的包套结构，所述包套结构设置有脱气口；

包套脱气：将铬粉填充至上述包套结构的空腔内，进行真空脱气处理；

热等静压：在所述背管的内部填充支撑材料，然后进行热等静压处理，使铬粉烧结形成铬管；所述支撑材料为台阶结构，在背管内侧和支撑材料之间形成间隙，间隙中填充氧化铝粉和/或氧化镁粉；

退火处理:去除背管内部的支撑材料，进行退火处理；

机加工：将退火处理后的铬管通过机加工去除包套结构，得到管状铬靶材。

2.根据权利要求1所述的管状铬靶材的制备方法，其特征在于，所述过渡层的厚度为0.5-1.5mm。

3.根据权利要求1所述的管状铬靶材的制备方法，其特征在于，所述包套脱气处理条件为，脱气温度350-600℃，压强不大于1×10^-2Pa，脱气时间为5-10h。

4.根据权利要求1所述的管状铬靶材的制备方法，其特征在于，所述热等静压处理的处理温度为1180-1350℃，压力为100-200MPa，保温保压时间1-5h。

5.根据权利要求1所述的管状铬靶材的制备方法，其特征在于，退火温度为400-600℃，退火保温时间2-4小时。

6.根据权利要求5所述的管状铬靶材的制备方法，其特征在于，所述退火保温结束后进行降温，温度高于200℃时降温速度不大于11℃/h，温度低于150℃后随炉冷却。

7.根据权利要求6所述的管状铬靶材的制备方法，其特征在于，所述背管内侧和支撑材料之间形成间隙的尺寸为3-10mm；

所述氧化铝粉或氧化镁粉的粒径为60-200目。

8.根据权利要求7所述的管状铬靶材的制备方法，其特征在于，所述支撑材料为钼棒或钨棒。

9.根据权利要求1-8任一项所述的管状铬靶材的制备方法，其特征在于，所述背管和包套的材料为不锈钢或低碳钢。