[发明专利]彩色光刻胶组合物有效
申请号: | 201910397555.7 | 申请日: | 2019-05-14 |
公开(公告)号: | CN110187602B | 公开(公告)日: | 2020-10-13 |
发明(设计)人: | 张月红 | 申请(专利权)人: | 深圳市华星光电技术有限公司 |
主分类号: | G03F7/004 | 分类号: | G03F7/004;G03F7/027;G02B5/22 |
代理公司: | 深圳翼盛智成知识产权事务所(普通合伙) 44300 | 代理人: | 黄威 |
地址: | 518132 广东*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 彩色 光刻 组合 | ||
1.一种彩色光刻胶组合物,其特征在于,以所述彩色光刻胶组合物为100重量份为基础,包括:
5-8重量份的颜料;
5-8重量份的碱可溶性树脂;
5-8重量份的酞菁半三明治型染料;
0.2-0.6重量份的光引发剂;
70重量份的光刻胶溶剂;以及
0.1-0.2重量份的添加剂其中所述酞菁半三明治型染料包括酞菁半三明治型化合物以及染料溶剂,其中所述酞菁半三明治型化合物具有以下化学式1的结构:
在化学式1中,中心配位金属RE为稀土金属元素;
R1系选自下列至少一者:H、脂肪碳链、氧碳链、芳环、卤素、羧基、酯基、氨基、巯基;以及
R2为含有O或N配位原子的有机化合物。
2.根据权利要求1所述的彩色光刻胶组合物,其特征在于,所述稀土金属元素包括:镧(La)、铈(Ce)、镨(Pr)、钕(Nd)、钷(Pm)、钐(Sm)、铕(Eu)、钆(Gd)、铽(Tb)、镝(Dy)、钬(Ho)、铒(Er)、铥(Tm)、镱(Yb)、镥(Lu)、钇(Y)、或钪(Sc)。
3.根据权利要求1所述的彩色光刻胶组合物,其特征在于,
所述R1系选自下列至少一者:H、-C5H12、-C6H14、-OC4H10、-OC5H12、-OC6H14、-OC8H18、苯环、萘环、F、Cl、Br、I、-COOH、-COOCH3、-NH2、-N(CH3)2、-SH、以及-SCH3;以及
所述R2系选自下列至少一者:乙酸以及乙酰丙酮。
4.根据权利要求1所述的彩色光刻胶组合物,其特征在于,所述染料溶剂系选自下列至少一者:CCl3、CH3COOCH3、二甲基甲酰胺(dimethylformamide,DMF)、以及二甲基亚砜(dimethyl sulfoxide,DMSO)。
5.根据权利要求1所述的彩色光刻胶组合物,其特征在于,所述颜料包括下列至少一者:绿色颜料、蓝色颜料、以及黄色颜料,其中
所述绿色颜料包括:卤素取代铜酞菁类颜料;
所述蓝色颜料包括:铜酞菁类颜料;以及
所述黄色颜料包括:吲哚啉基类颜料、喹酞酮基类颜料、镍复合物类颜料、或其组合。
6.根据权利要求1所述的彩色光刻胶组合物,其特征在于,所述碱可溶性树脂系选自下列至少一者:烷基取代丙烯酸类树脂、不饱和基团取代丙烯酸类树脂、以及环氧基团取代丙烯酸类树脂,其中
所述烷基取代丙烯酸类树脂包括:丙烯酸、甲基丙烯酸烷基酯、甲基丙烯酸芳基酯、甲基丙烯酸醇酯、或其组合;
所述不饱和基团取代丙烯酸类树脂包括:丁二酸甲基丙烯酸酯;以及
所述环氧基团取代丙烯酸类树脂包括:环氧丙烯酸酯、环氧甲基丙烯酸酯、环氧甲基丙烯酸烷基酯、环氧甲基丙烯酸芳基酯、或其组合。
7.根据权利要求1所述的彩色光刻胶组合物,其特征在于,所述光引发剂系选自下列至少一者:苯乙酮类、安息香类、双咪唑类、以及二苯甲酮类,其中
所述苯乙酮类包括:α,α-二乙氧基苯乙酮、2-羟基-2-甲基-1-苯基-1-丙酮(HMPP)、2-甲基-2-吗啉代-1-(4-甲基苯硫基)丙烷-1-酮、或其组合;
所述安息香类包括:偶苯酰、二苯乙酮醇、苯偶姻醚、及其组合;以及
所述双咪唑类包括:六芳基二咪唑类。
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