[发明专利]一种晶圆表面颗粒清洗单旋喷嘴

权利要求书

1.一种晶圆表面颗粒清洗单旋喷嘴，其特征在于：包括喷嘴内芯(1)、喷嘴外壳(8)及喷嘴内塞(11)，其中喷嘴内芯(1)上开设有液体通道(6)，液体由该液体通道(6)的一端进入、由位于另一端的喷液口(12)喷出；所述喷嘴内芯(1)的一端插设于喷嘴外壳(8)中，该喷嘴外壳(8)的一端与所述喷嘴内芯(1)连接，另一端内部连接有喷嘴内塞(11)，所述喷嘴内塞(11)位于喷嘴外壳(8)与喷嘴内芯(1)之间；所述喷嘴内塞(11)和喷嘴内芯(1)之间以及喷嘴内塞(11)和喷嘴外壳(8)之间均留有供惰性气体流通的空间，该喷嘴外壳(8)上分别开设有与喷嘴内塞(11)和喷嘴内芯(1)之间的空间以及与喷嘴内塞(11)和喷嘴外壳(8)之间的空间相连通的惰性气体进气口，所述喷嘴内塞(11)上开设有布风孔(7)，喷嘴内塞(11)和喷嘴内芯(1)之间的空间与喷嘴内塞(11)和喷嘴外壳(8)之间的空间通过该布风孔(7)连通，喷嘴内塞(11)和喷嘴外壳(8)之间的空间内的惰性气体通过所述布风孔(7)呈旋转状向喷嘴内塞(11)和喷嘴内芯(1)之间的空间内进气，与喷嘴内塞(11)和喷嘴内芯(1)之间的空间内的惰性气体汇合后，由所述喷液口(12)外围的惰性气体出口(13)喷出，对由所述喷液口(12)喷出的液体雾化，晶圆表面通过被雾化后的液体进行清洗。

2.根据权利要求1所述的晶圆表面颗粒清洗单旋喷嘴，其特征在于：所述喷嘴内塞(11)上的布风孔(7)为多个，沿圆周方向均布，每个布风孔(7)均呈“L”形，该“L”形的竖边沿所述喷嘴内塞(11)的轴向开设，“L”形的横边沿喷嘴内塞(11)的径向开设，且该“L”形的横边倾斜于“L”形的竖边。

3.根据权利要求2所述的晶圆表面颗粒清洗单旋喷嘴，其特征在于：各所述布风孔(7)的“L”形横边的倾斜方向均相同，所述喷嘴内塞(11)和喷嘴外壳(8)之间的空间内的惰性气体以顺时针旋转或逆时针旋转向喷嘴内塞(11)和喷嘴内芯(1)之间的空间内进气。

4.根据权利要求1所述的晶圆表面颗粒清洗单旋喷嘴，其特征在于：所述喷嘴内塞(11)与喷嘴内芯(1)之间的空间的上部为惰性气体垂直加速区间(9)、下部为位于布风孔(7)内侧的汇合空间(14)，中间为过渡段。

5.根据权利要求4所述的晶圆表面颗粒清洗单旋喷嘴，其特征在于：所述惰性气体垂直加速区间(9)及汇合空间(14)均为圆柱状，所述过渡段为锥台状，该汇合空间(14)的内径大于所述惰性气体垂直加速区间(9)的内径；所述惰性气体出口(13)位于汇合空间(14)的下方，并环绕于所述喷液口(12)的外围。

6.根据权利要求4所述的晶圆表面颗粒清洗单旋喷嘴，其特征在于：所述喷嘴外壳(8)上沿径向开设有惰性气体进气口A(3)，该惰性气体进气口A(3)与所述惰性气体垂直加速区间(9)的上部相连通。

7.根据权利要求1所述的晶圆表面颗粒清洗单旋喷嘴，其特征在于：所述喷嘴内塞(11)的一端与喷嘴外壳(8)另一端的内部螺纹连接或过盈配合，该喷嘴内塞(11)的另一端沿圆周方向均布有多个布风孔(7)。

8.根据权利要求1所述的晶圆表面颗粒清洗单旋喷嘴，其特征在于：所述喷嘴外壳(8)与喷嘴内塞(11)之间的空间为惰性气体旋转环腔(5)，该惰性气体旋转环腔(5)环绕于所述喷嘴内塞(11)的外围；所述喷嘴外壳(8)上沿径向开设有惰性气体进气口B(10)，该惰性气体进气口B(10)与所述惰性气体旋转环腔(5)相连通。

9.根据权利要求1所述的晶圆表面颗粒清洗单旋喷嘴，其特征在于：所述喷嘴内芯(1)可为一体结构或分为上下两部分，当为一体结构时，与所述喷嘴外壳(8)螺纹连接或过盈配合；当所述喷嘴内芯(1)分为上下两部分时，每部分与所述喷嘴外壳(8)之间为螺纹连接或过盈配合。

10.根据权利要求1所述的晶圆表面颗粒清洗单旋喷嘴，其特征在于：所述单旋喷嘴(14)喷出端的端部为锥形结构，所述惰性气体出口(13)也呈锥形。