[发明专利]剪切量可调的透射式双频激光微分干涉测量装置及方法

权利要求书

1.一种剪切量可调的透射式双频激光微分干涉测量装置，其特征在于，其包括双频激光器，双频激光器的输出光路上从左到右依次设置有第一渥拉斯顿棱镜、第二渥拉斯顿棱镜、待测样品、第一反射镜，第一反射镜的反射光路从右到左依次经过第二渥拉斯顿棱镜、第一渥拉斯顿棱镜，最终被第二反射镜反射，第二反射镜的反射光路从上到下依次设置有四分之一波片、偏振片和CCD探测器。

2.如权利要求1所述的一种剪切量可调的透射式双频激光微分干涉测量装置，其特征在于，双频激光器的频差为3MHz。

3.如权利要求1所述的一种剪切量可调的透射式双频激光微分干涉测量装置，其特征在于，第一渥拉斯顿棱镜和第二渥拉斯顿棱镜规格相同。

4.如权利要求1所述的一种剪切量可调的透射式双频激光微分干涉测量装置，其特征在于，所述第一渥拉斯顿棱镜和第二渥拉斯顿棱镜的楔角为0.28º。

5.如权利要求1所述的一种剪切量可调的透射式双频激光微分干涉测量装置，其特征在于，所述第二渥拉斯顿棱镜与第一渥拉斯顿棱镜间距离的调节范围为10~20mm。

6.一种基于权利要求1所述装置的剪切量可调的透射式双频激光微分干涉测量方法，其特征在于，包括如下步骤：

步骤一：打开双频激光器，使双频激光器发出一对具有互相正交的P、S线偏振光；

步骤二：通过前后移动第二渥拉斯顿棱镜来调节如步骤一所述的P、S线偏振光穿过第一渥拉斯顿棱镜和第二渥拉斯顿棱镜后得到的两束平行光的剪切量；

步骤三：使用CCD探测器记录干涉图案；

步骤四：旋转偏振片，对原P偏振光和S偏振光的相位差进行调制，使用CCD探测器分别不同偏振方向的干涉图案，提取出被测相位，采用相移算法进行还原获得待测样品的折射率分布。

7.如权利要求6所述的一种剪切量可调的透射式双频激光微分干涉测量方法，其特征在于，P、S偏振方向与四分之一波片的快轴方向的夹角为45º。

8.如权利要求6所述的一种剪切量可调的透射式双频激光微分干涉测量方法，其特征在于，步骤四中选择五种不同的偏振方向，偏振片的方位角分别为-90º、-45º、0º、45º、90º。