[发明专利]一种醇蒸汽后退火处理硫化锑基薄膜的太阳能电池的制备方法有效
申请号: | 201910398353.4 | 申请日: | 2019-05-14 |
公开(公告)号: | CN110137272B | 公开(公告)日: | 2020-10-27 |
发明(设计)人: | 李炫华;韩剑;王双洁 | 申请(专利权)人: | 西北工业大学深圳研究院;西北工业大学 |
主分类号: | H01L31/0216 | 分类号: | H01L31/0216;H01L31/032;H01L31/18 |
代理公司: | 西北工业大学专利中心 61204 | 代理人: | 王鲜凯 |
地址: | 518000 广东省深圳市南山区粤海*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 蒸汽 退火 处理 硫化锑 薄膜 太阳能电池 制备 方法 | ||
1.一种醇蒸汽后退火处理硫化锑基薄膜的太阳能电池的制备方法,其特征在于步骤如下:
步骤1、FTO玻璃的处理:对FTO玻璃进行常规预处理;所述常规预处理:采用去污粉清洗FTO玻璃,然后将其分别用去离子水、丙酮和无水乙醇进行超声处理5-15min,用氮气吹干,最后将其进行UV处理5-20min;
步骤2、电子传输层的制备:采用TiO2作为电子传输材料,在FTO玻璃上制备电子传输层;
步骤3、硫化锑光吸收层的醇蒸汽后退火处理:将锑的前驱体溶液旋涂在TiO2电子传输层上,制备硫化锑薄膜后,采用“醇蒸汽后退火处理方法”对硫化锑薄膜进行后退火处理:再将硫化锑薄膜置于含小坩埚的加热台上,将10-200μl的异丙醇、乙醇和甲醇分别滴入坩埚中,同时迅速用培养皿盖住,100-400℃退火处理1-5min,对硫化锑薄膜进行无溶剂退火处理,即得到硫化锑吸光层;
步骤4、空穴传输层的制备:将Spiro-OMeTAD溶液旋涂在硫化锑薄膜上制备得到Spiro-OMeTAD层;
步骤5、电极蒸镀:采用热蒸镀仪,在空穴传输层上蒸镀一层100-120nm厚的Au背电极,即得到硫化锑基薄膜太阳能电池。
2.根据权利要求1所述醇蒸汽后退火处理硫化锑基薄膜的太阳能电池的制备方法,其特征在于:所述步骤2在FTO玻璃上制备TiO2电子传输层:以1000-5000rpm/min的速率,旋涂TiO2溶液,在空气中100-500℃下退火处理10-60min,然后冷却至室温,得到致密的TiO2电子传输层。
3.根据权利要求1所述醇蒸汽后退火处理硫化锑基薄膜的太阳能电池的制备方法,其特征在于:所述步骤3的锑的前驱体溶液为:1.0-2.0mmol的Sb2O3粉末、在1.0-3.0mL的乙醇中稀释的1.0-2.5mL的CS2和1.0-2.5mL的n-丁胺混合搅拌,得到锑的前驱体溶液。
4.根据权利要求1或3所述醇蒸汽后退火处理硫化锑基薄膜的太阳能电池的制备方法,其特征在于:所述步骤3的制备硫化锑薄膜:将步骤2处理过的FTO玻璃基底移入有氮气保护的手套箱内,将锑的前驱体溶液溶液滴加在TiO2层上,以3000-9000rpm/min的速率旋涂20-80s,然后在100-400℃下加热1-10min,得到硫化锑薄膜。
5.根据权利要求1所述醇蒸汽后退火处理硫化锑基薄膜的太阳能电池的制备方法,其特征在于:所述步骤4的Spiro-OMeTAD溶液为:将28μl的4-叔丁基吡啶4-tert-butylpyridine和17μl的双三氟甲烷磺酰亚胺锂Li-TFSI添加到1mL氯苯中,得到Spiro-OMeTAD溶液;所述双三氟甲烷磺酰亚胺锂Li-TFSI是以520mg Li-TFSI溶于1ml乙腈中;前述组份含量为每份的计量。
6.根据权利要求1或5所述醇蒸汽后退火处理硫化锑基薄膜的太阳能电池的制备方法,其特征在于:所述步骤4的在硫化锑薄膜上制备得到Spiro-OMeTAD层:将Spiro-OMeTAD溶液在硫化锑薄膜上以3000-9000rpm/min的速率旋涂20-80s,最后在空气中50-200℃下退火处理10-30min,即得到Spiro-OMeTAD层。
7.根据权利要求3所述醇蒸汽后退火处理硫化锑基薄膜的太阳能电池的制备方法,其特征在于:所述Sb2O3粉末、CS2和n-丁胺采用分析纯。
8.根据权利要求3所述醇蒸汽后退火处理硫化锑基薄膜的太阳能电池的制备方法,其特征在于:所述乙醇采用优级纯。
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