[发明专利]柔性连续性磁控溅射沉积镀膜工作腔室隔离方法

说明书

本发明提供一种柔性连续性磁控溅射沉积镀膜工作腔室隔离方法，采用高低真空腔真空度隔离装置，利用高低真空度压力差，将磁控溅射镀膜机的工作腔室物理隔离，有效减少工作气体的流失以维持各个工作腔室的真空度；可广泛应用于连续柔性薄膜显示器、薄膜太阳能电池、柔性调光窗膜、柔性电磁屏蔽膜等成膜的生产制造中。

技术领域

本发明涉及真空镀膜领域，提供一种柔性连续性磁控溅射沉积镀膜工作腔室隔离方法，采用高低真空腔真空度隔离装置，利用高低真空度压力差，将磁控溅射镀膜机的工作腔室物理隔离，有效减少工作气体的流失以维持各个工作腔室的真空度。

背景技术

柔性薄膜显示器、薄膜太阳能电池、柔性调光窗膜、柔性电磁屏蔽膜（统称成膜）的应用日益广泛，生产实践中，较多时需要以超薄型柔性基材作为基底，利用磁控溅射镀膜机，以惰性气体为工作气体，采取磁控溅射沉积式的真空镀膜技术，在超薄型柔性基材上分层沉积阴极靶材或阴极靶材氧化物薄膜层制成成膜。

为保持成膜生产的连续性以适应成规模、大批量生产，现有技术中，多采用卷绕式（卷对卷）、柔性、连续的磁控溅射沉积工艺。

柔性连续型卷对卷磁控溅射沉积镀膜生产过程中，考虑到生产工艺、工作效率的要求，将柔性基底的连续卷材放卷、柔性连续基带预处理、磁控溅射沉积镀膜工作腔、成膜收卷贯穿在一套设备内。通常会设置放卷室工作腔（放卷腔）、前置预处理室、磁控溅射沉积镀膜腔（镀膜腔）、在线监测室和收卷室工作腔（收卷腔）。放卷室工作腔（放卷腔）、前置预处理室、磁控溅射沉积镀膜腔（镀膜腔）、在线监测室和收卷室工作腔（收卷腔）统称为磁控溅射镀膜机的工作腔室，柔性基带和成膜统称为柔性带材。具体实施时，前置预处理室设置在放卷腔内、在线监测室设置在收卷腔内。由于工艺需要，放卷腔、镀膜腔、收卷腔的真空度有所区别，以达到不同目的的需要。

磁控溅射沉积镀膜作业时，设置在放卷腔内的前置预处理室需要对柔性连续基带进行除气除湿处理，设置在收卷腔内的在线监测室需要对磁控溅射沉积镀膜质量等进行在线、即时检测，放卷腔、前置预处理室、在线监测室、收卷腔真空度均要远高于镀膜腔真空度。

由于各个工作腔室真空度不同，低真空腔室气体会向高真空腔室流动以期达到平衡。为保持各自工作腔室真空度，必须增加抽气泵功率以加大抽气速率对高真空腔室抽气，同时会导致工作气体持续流失。为保持磁控溅射沉积镀膜腔工作气压，补充流失的工作气体，必须源源不断地向磁控溅射沉积镀膜腔释放工作气体，皆增大了磁控溅射沉积镀膜的能源消耗，浪费大量的工作气体。

基于上述种种，在保证柔性连续型卷对卷磁控溅射沉积镀膜作业正常进行的同时、对各个工作腔室实施物理隔离避免或有效减少工作气体的流失以维持各个工作腔室的真空度的需求日益迫切。

发明内容

本发明的目的是提供一种柔性连续性磁控溅射沉积镀膜工作腔室隔离方法，采用高低真空腔真空度隔离装置，利用高低真空度压力差，将磁控溅射镀膜机的工作腔室物理隔离，有效减少工作气体的流失以维持各个工作腔室的真空度。

本发明的目的是通过以下技术方案实现：