[发明专利]一种交联剂、光敏树脂组合物及其用途

说明书

本发明涉及一种交联剂、光敏树脂组合物及其用途，所述交联剂具有式(I)或式(II)所示的结构，所述交联剂含有取代在芳基上的至少3个卞醚基或苄醇基，以及至少2个氧乙烯基，所述光敏树脂组合物包括所述交联剂，还包括溶剂、光产酸剂以及含羟基聚酰亚胺树脂，所述光敏树脂组合物的用途，所述光敏树脂组合物用于OLED显示面板。本发明提供的包含有所述交联剂的光敏树脂组合物具有良好的分辨率和显影留膜率，同时具有较高的抗剥离性能、机械强度，以及较低小分子挥发量。

技术领域

本发明涉及光刻技术领域，特别涉及一种交联剂、光敏树脂组合物及其用途。

背景技术

聚酰亚胺材料具有良好的热稳定性、力学性能、电性能及耐化学腐蚀性等性能，常被用于制备耐高温、高绝缘的光敏组合物。目前常用的技术方案为聚酰亚胺前驱体(聚酰胺酸或其部分酯化的产物，简称聚酰胺酸(酯))与重氮萘醌磺酸酯类化合物(PAC)及其它添加剂组成的组合物，该方案的主要问题在于，聚酰胺酸(酯)中羧基碱溶性过高，PAC对树脂的碱溶抑制性差，导致其在显影过程减膜率过高，不利于提高材料利用率；此外，聚酰胺酸(酯)在制程工艺中需要经过高温环化、交联反应(200℃以上)以形成交联聚酰亚胺，获得所需的性能，该过程会发生进一步的减膜，并溢出大量的小分子挥发物(outgas)，导致材料热膜缩、残余应力较高，影响器件的稳定性，并且现有技术采用封端剂加成聚合的方式，仅在主链两端发生交联，难以保证材料性能的各向同性。

CN104678697B公开了一种正性光敏树脂组合物、用其制备的光敏树脂膜和显示装置。所述正性光敏树脂组合物包含碱溶性树脂、光敏重氮醌化合物、由以下化学式1表示的热固性交联剂和溶剂；

R¹至R⁴独立地为氢、取代的或未取代的C1至C20烷基、取代的或未取代的C3至C20环烷基、或者取代的或未取代的C6至C20芳基，并且R²和R³中的至少一个为氢，所述正性光敏树脂组合物具有改善的耐热性、耐化学性和机械特性，并且降低了外溢气的产生量，但是该交联剂用于碱溶性树脂的交联时，产物交联程度不高，使得固化后光敏树脂组合物的耐剥离性能和机械性能较差。

CN104730861A公开了一种正型光敏树脂组合物、利用其制备的光敏树脂膜以及显示装置。本发明公开了一种正型光敏树脂组合物，包括碱溶性树脂、光敏重氮醌化合物、交联剂、热生酸剂、苯酚类化合物和有机溶剂，其中以1：50至50：1的重量比包含交联剂和热生酸剂，交联剂可以是三聚氰胺类交联剂、羟甲基类交联剂、或者它们的组合，碱溶性树脂可以是聚苯并噁唑前体、聚酰亚胺前体、或它们的组合，该组合物需要在较高的温度下进行固化，残余应力较高，影响器件的稳定性，并且含有大量的小分子挥发物。

CN106842819A公开了一种含炔基单体封端且显影液选择灵活的正型感光性聚酰亚胺树脂组合物，它含有碱溶性聚酰亚胺、光敏剂、交联剂、添加剂和有机溶剂；所述碱溶性聚酰亚胺、光敏剂、交联剂、添加剂和有机溶剂的重量百分比为100:10～40:0～10:10～20:500～1000。所述碱溶性聚酰亚胺通过一步二段法制备，采用缩聚和热亚胺化法，较两步法有工艺简单，操作简洁的优点；该发明提供的正型感光性树脂组合物具有低的热膨胀系数、高的机械强度、高耐热性和优异的感光性能，但是引入含炔基单体封端剂也就意味着需要在高温下实现固化，这样会使残余应力较高，影响器件的稳定性，并且含有大量的小分子挥发物。

因此，本领域亟待研究如何能够在保证光敏树脂组合物具有良好的分辨率和显影留膜率的同时，提高剥离性能、机械强度和小分子挥发量。

发明内容

本发明的目的在于提供一种交联剂，所述交联剂用于光刻胶中，能够使光刻胶具有良好的分辨率和显影留膜率的同时，提高剥离性能、机械强度和小分子挥发量。

为达此目的，本发明采用如下技术方案：