[发明专利]微流控基板、芯片及检测方法

权利要求书

1.一种微流控基板，包括第一基底、以及设置在第一基底上的呈阵列式分布的液滴检测单元，其特征在于，液滴检测单元包括液滴驱动电极和超声波收发器件，超声波收发器件用于发出超声波并检测反射回的超声波以检测液滴驱动电极对应的位置是否存在液滴。

2.根据权利要求1所述的微流控基板，其特征在于，超声波收发器件包括叠置的第一电极、压电结构、第二电极。

3.根据权利要求2所述的微流控基板，其特征在于，液滴检测单元还包括第一开关模块、第二开关模块和电压检测模块；

第一开关模块用于根据第一栅控制信号端的信号控制第一驱动信号端与第一电极之间的通断；

第二开关模块用于根据第二栅控制信号端的信号控制第二驱动信号端与第二电极之间的通断；

电压检测模块用于检测第二电极的电压。

4.根据权利要求3所述的微流控基板，其特征在于，液滴检测单元还包括光敏二极管，光敏二极管的阳极连接第二驱动信号端，其阴极连接第二电极。

5.根据权利要求4所述的微流控基板，其特征在于，还包括设置在第一基底背向液滴检测单元一侧的第一遮光层。

6.一种微流控芯片，其特征在于，包括根据权利要求1-5任意一项所述的微流控基板，以及包括与微流控基板相对设置的对盒基板，对盒基板与微流控基板之间限定出供液滴移动的通道，对盒基板位于第一基底朝向液滴检测单元的一侧。

7.根据权利要求6所述的微流控芯片，其特征在于，当所述微流控基板为权利要求4或5所述的微流控基板时，对盒基板包括第二基底、设置在第二基底朝向第一基底一侧的光波导结构。

8.根据权利要求7所述的微流控芯片，其特征在于，对盒基板还包括设置在第二基底背向第一基底一侧的第二遮光层。

9.一种微流控芯片的检测方法，其特征在于，应用于根据权利要求6-8任意一项所述的微流控芯片，该检测方法包括：

控制待检测区域内的各超声波收发器件发出超声波；

通过待检测区域内的各超声波收发器件检测超声波；

根据接收到的超声波的强弱的分布确定液滴的位置。

10.根据权利要求9所述的检测方法，其特征在于，

所述控制待检测区域内的各超声波收发器件发出超声波具体为：向第一栅控制信号端和第二栅控制信号端提供有效电压，向第一驱动信号端提供方波电压，向第二驱动信号段提供固定电压；

所述通过待检测区域内的各超声波收发器件检测超声波具体包括：向第一栅控制信号端提供有效电压，向第二栅控制信号端提供无效电压，向第一驱动信号端提供低电平固定电压。

所述根据接收到的超声波的强弱的分布确定液滴的位置包括:根据待检测区域内各电压检测模块检测到的第二电极的电压的分布确定液滴的位置。

11.根据权利要求10所述的检测方法，其特征在于，该检测方法还包括：

将液滴移动至与光波导结构的出光口相对的位置；

向光波导结构提供入射光以在其出光口发出设定波长的光，并向第一栅控制信号端和第二栅控制信号端均提供无效电压；

获取液滴所在位置对应的检测单元的第二电极的电压；

根据液滴所在位置对应的检测单元的第二电极的电压确定液滴的成分信息。