[发明专利]研磨仪

权利要求书

1.一种研磨仪，其特征在于，包括：

基座（100）；

驱动装置（200），设置于所述基座（100），所述驱动装置（200）具有输出轴（210），所述输出轴（210）设置有研磨件（300）；

防溅盖（700），设置于所述驱动装置（200）或所述输出轴（210）或所述研磨件（300）或所述样品杯（800）。

2.如权利要求1所述的研磨仪，其特征在于，所述防溅盖（700）套设于所述驱动装置（200）或所述输出轴（210）或所述研磨件（300），所述防溅盖（700）的边缘间隔设置多个刮块（711）。

3.如权利要求1所述的研磨仪，其特征在于，所述防溅盖（700）套设于所述驱动装置（200）或所述输出轴（210）或所述研磨件（300），由所述输出轴（210））到所述防溅盖（700）的边缘，所述防溅盖（700）朝向背离重力方向的一侧倾斜。

4.如权利要求1所述的研磨仪，其特征在于，所述防溅盖（700）套设于所述驱动装置（200）或所述输出轴（210）或所述研磨件（300），由所述输出轴（210）到所述防溅盖（700）的边缘，所述防溅盖（700）朝向靠近重力方向的一侧倾斜。

5.如权利要求1所述的研磨仪，其特征在于，所述驱动装置（200）包括驱动壳体（220），所述输出轴（210）由所述驱动壳体（220）伸出，所述防溅盖（700）套设于所述驱动壳体（220），所述防溅盖（700）的边缘设置有喷射嘴（710），所述喷射嘴（710）可以与供气或者供水管道连接。

6.如权利要求5所述的研磨仪，其特征在于，所述防溅盖（700）包括上盖体（720）和下盖体（730），所述上盖体（720）和所述下盖体（730）之间包围形成容纳空间（740），所述容纳空间（740）内设置有喷射管路（750），所述喷射管路（750）与所述喷射嘴（710）连接。

7.如权利要求5所述的研磨仪，其特征在于，所述喷射嘴（710）的喷射方向与所述防溅盖（700）的倾斜方向一致。

8.如权利要求1所述的研磨仪，其特征在于，所述驱动装置（200）包括驱动壳体（220），所述输出轴（210）由所述驱动壳体（220）伸出，所述防溅盖（700）的中心具有通孔（760），所述通孔（760）与所述输出轴（210）间隙配合。

9.如权利要求1所述的所述的研磨仪，其特征在于，所述驱动装置（200）设置有压力传感器（770）。

10.如权利要求1-9任一项所述的研磨仪，其特征在于，还包括清洗装置（10），用于清洗所述研磨件（300）。