[发明专利]研磨仪在审
申请号: | 201910401339.5 | 申请日: | 2019-05-11 |
公开(公告)号: | CN111999136A | 公开(公告)日: | 2020-11-27 |
发明(设计)人: | 陈继欣 | 申请(专利权)人: | 微思行(北京)科技有限公司 |
主分类号: | G01N1/28 | 分类号: | G01N1/28;B08B1/02;B08B1/04;B08B3/02;B08B3/04 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 100049 北京市海淀区田*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 研磨 | ||
1.一种研磨仪,其特征在于,包括:
基座(100),
驱动装置(200),设置于所述基座(100),所述驱动装置(200)具有输出轴(210),所述输出轴(210)设置有研磨件(300);
清洗装置(10),用于清洗所述研磨件(300)。
2.如权利要求1所述的研磨仪,其特征在于,包括:
所述清洗装置(10)包括:
清洗杯(110),所述清洗杯(110)包括壳体(112),所述壳体(112)设置有进水口(150)和出水口(160);
旋转座(114),设置于所述壳体(112)的底部;
清洗件(120),设置于所述旋转座(114),所述旋转座(114)用于带动所述清洗件(120)旋转,以使所述清洗件(120)刷洗所述研磨件(300)。
3.如权利要求2所述的研磨仪,其特征在于,所述清洗件(120)包括第一清洗架(122),所述第一清洗架(122)设置于所述旋转座(114)的周缘,所述第一清洗架(122)靠近所述旋转座(114)轴线的一侧设置有毛刷(124)。
4.如权利要求2所述的研磨仪,其特征在于,所述清洗件(120)包括至少两个清洗柱(126),所述至少两个清洗柱(126)间隔设置于所述旋转座(114)的边缘,所述清洗柱(126)的表面设置有毛刷(124),所述清洗件(120)还包括旋转电机(128),所述清洗柱(126)通过所述旋转电机(128)设置于所述旋转座(114)的边缘。
5.如权利要求2所述的研磨仪,其特征在于,所述清洗件(120)包括:
第二清洗架(132),设置于所述旋转座(114)的周缘;
喷水装置(130),设置于所述第二清洗架(132),所述喷水装置(130)包括第一喷水口(134)和第二喷水口(136),所述第一喷水口(134)和所述第二喷水口(136)沿着竖直方向间隔设置于所述第二清洗架(132);
清洗液出口(138),设置于所述第二清洗架(132)。
6.如权利要求2所述的研磨仪,其特征在于,所述壳体(112)的内壁设置有喷水口(180)。
7.如权利要求1所述的研磨仪,其特征在于,还包括样品座(400),并位于所述输出轴(210)的下方,所述样品座(400)设置多个样品位(410),所述驱动装置(200)用以带动所述输出轴(210)沿着竖直方向运动。
8.如权利要求7所述的研磨仪,其特征在于,还包括旋转臂(140),固定设置于所述基座(100),所述旋转臂(140)的旋转半径在竖直方向的投影覆盖所述清洗装置(10),所述驱动装置(200)设置于所述旋转臂(140)远离所述基座(100)的一端。
9.如权利要求7所述的研磨仪,其特征在于,还包括轨道(610),所述基座(100)滑动设置于所述轨道(610),所述清洗装置(10)设置于所述轨道(610)的延伸方向。
10.如权利要求1所述的研磨仪,其特征在于,所述研磨件(300)包括第一研磨刀(310)和第二研磨刀(320),所述第一研磨刀(310)和第二研磨刀(320)沿着所述输出轴(210)的轴线方向依次间隔设置于所述输出轴(210),且所述第一研磨刀(310)和所述第二研磨刀(320)交叉设置,所述第二研磨刀(320)远离所述输出轴(210)的一侧朝着背离重力的方向凹陷,所述第二研磨刀(320)靠近所述输出轴(210)的一侧朝着重力的方向凸起。
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