[发明专利]一种可调压差的洁净室的开门限制机械装置及方法

权利要求书

1.一种可调压差的洁净室的开门限制机械装置，其连接一用于洁净室门的开合结构，所述开合结构为能够使得第一室和第二室之间的门开启或闭合的结构，其特征在于，所述装置包括：

一杠杆，在杠杆上设有一支点；

一第一室压施力及检测机构，位于杠杆上支点的一端或一侧；

一第二室压施力及检测机构，位于杠杆上支点的另一端或另一侧；

压差机构，与所述第一室压施力及检测机构同侧；

一限位装置，一端与所述支点活动连接，另一端与开合结构活动连接，所述限位装置包括，一连杆，一限制轮，与所述限制轮匹配的限制齿；所述连杆一端与所述支点活动连接，另一端与所述限制齿固定连接；所述限制轮上有一缺口，所述限制齿啮合于所述限制轮缺口处；所述限制轮与所述开合结构轴接；

其中，所述第一室压施力及检测机构与所述第二室压施力及检测机构均与所述杠杆有接触点；

上述任一机构中的活塞移动时，通过所述接触点向所述杠杆施加压力。

2.一种可调压差的洁净室的开门限制方法应用于如权利要求1所述的装置，其特征在于，所述方法包括：

第一室压施力及检测机构，第二室压施力及检测机构、压差机构和限位装置；

所述压差机构和所述第一室压施力及检测机构向所述杠杆施加第一压力，其中所述第一压力为所述压差机构产生的压力和所述第一室压施力及检测机构产生的压力之和；

所述第二室压施力及检测机构向所述杠杆施加第二压力；

当所述第一压力等于所述第二压力时，所述杠杆基于支点静止，第一室与第二室之间的门闭合；否则，所述杠杆受到所述限位装置限制，第一室与第二室之间的门闭合，或，所述杠杆基于所述支点转动，第一室与第二室之间的门开启；

其中，所述压差机构内的压差值是预设的非零常数压力值，所述压差值具体为所述第一室与所述第二室之间的压力差值。

3.根据权利要求2所述的可调压差的洁净室的开门限制方法，其特征在于，包括：

所述限位装置由输出轴、限制轮和限制齿组成；

所述限制齿一端与所述连杆固定，另一端与所述限制轮上的缺口卡合；

所述输出轴一端与所述限制轮轴接，另一端与所述开合结构活动连接，使得所述限制轮随着所述开合结构的动作而动作。

4.根据权利要求2或3所述的可调压差的洁净室的开门限制方法，其特征在于，所述否则，所述杠杆受到所述限位装置限制，第一室与第二室之间的门闭合：

当所述第一压力大于所述第二压力时有第一压力差值，所述杠杆受到所述第一压力差值的压力，所述杠杆带动轴接于所述支点的连杆联动，此时，所述连杆转动方向与开合结构的开启方向相反，所述连杆受到与所述开合结构活动连接的所述限位装置限制，所述杠杆静止。

5.根据权利要求4所述的可调压差的洁净室的开门限制方法，其特征在于，所述连杆受到与所述开合结构活动连接的所述限位装置限制，所述杠杆静止，包括：

当所述连杆转动方向与所述开合结构的开启方向相反时，所述限制轮静止，所述限制齿卡合于所述限制轮上的缺口，所述连杆静止。

6.根据权利要求2或3所述的可调压差的洁净室的开门限制方法，其特征在于，所述杠杆基于所述支点转动，第一室与第二室之间的门开启，还包括：

当所述第一压力小于所述第二压力时有第二压力差值，所述杠杆受到所述第二压力差值的压力，所述杠杆带动轴接于所述支点的连杆联动，此时，所述连杆转动方向与开合结构的开启方向相同，所述连杆不被所述限位装置限制，所述杠杆转动。

7.根据权利要求6所述的可调压差的洁净室的开门限制方法，其特征在于，所述连杆不被所述限位装置限制，所述杠杆转动，包括：

所述连杆转动方向与开合结构的开启方向相同时，所述限制齿随着所述连杆的转动脱离所述限制轮上的缺口，所述连杆带动所述杠杆转动，所述限制轮随着所述开启方向转动，第一室与第二室之间的门开启。