[发明专利]结晶度检测装置

说明书

本发明公开一种结晶度检测装置。本发明的结晶度检测装置包括：光源，沿第一方向布置于结晶化的基板的第一侧，并向所述结晶化的基板照射光；摄像元件，布置在相反于所述第一侧的与所述结晶化的基板的第二侧，并拍摄所述结晶化的基板的图像；偏光板，布置于所述结晶化的基板和摄像元件之间，并相对于所述结晶化的基板以第一角度或者第二角度布置；以及控制部，连接在所述摄像元件，测量透过分别以第一角度和第二角度布置时的偏光板的透光率差异。

技术领域

本发明涉及一种结晶度检测装置。

背景技术

通常，显示装置可以应用于智能电话、膝上型轻便电脑、数码相机、便携式摄像机、便携式信息终端、笔记本电脑、平板个人电脑等移动装置，或者应用于台式计算机、电视机、户外广告板、展示用显示装置、汽车用仪表盘、平视显示器(head up display,HUD)等电子装置。

近来，正在推出更加轻薄化的显示装置。

柔性显示装置(flexible display device)易于携带，并且可以应用于多种形态的装置。其中，最有影响力的柔性显示装置是基于有机发光显示技术的柔性显示装置。柔性显示装置可以向任一方向弯曲。

显示装置包括有配备在薄膜晶体管(thin film transistor,TFT)的半导体层。半导体层包括多晶硅(poly crystalline silicon)之类的半导体物质。可以通过将非晶硅(amorphous silicon)进行结晶化而形成多晶硅。

非晶硅可以通过准分子激光退火(excimer laer annealing,ELA)方法而进行结晶化。在将非晶硅进行结晶化时，对于根据施加的能量而进行分区(split)的基板，将通过肉眼检查而选定适合的能量。但在进行肉眼检测的情形下，会发生不同检测员之间的检测能力的偏差。因此，会消耗用于进行检测的时间，并导致工程时间的延时。

发明内容

本发明实施例用于提供一种能够容易地选定施加在基板的激光能量的结晶度检测装置。

根据本发明的一侧面的结晶度检测装置包括：光源，沿第一方向布置于结晶化的基板的第一侧，并向所述结晶化的基板照射光；摄像元件，布置在相反于所述第一侧的所述结晶化的基板的第二侧，并拍摄所述结晶化的基板的图像；偏光板，布置于所述结晶化的基板和摄像元件之间，并相对于所述结晶化的基板以第一角度或者第二角度布置；以及控制部，连接在所述摄像元件，测量透过分别以第一角度和第二角度布置时的偏光板的透光率差异。

在一实施例中，所述光源包括：绿色LED，具有480nm至530nm的波段。

在一实施例中，所述第一角度可以对应于如下角度：所述偏光板相对于所述结晶化的基板以0°布置，所述第二角度可以对应于如下角度：所述偏光板相对于所述结晶化的基板以90°布置。

在一实施例中，所述偏光板可以可旋转地结合到所述摄像元件的端部。

在一实施例中，在有所述光源、偏光板、以及摄像元件的轴上还可以布置有选择性地使特定波段的光透过的带通滤波器。

在一实施例中，所述带通滤波器包括：滤波器，使505nm至515nm的波段的光透过。

在一实施例中，还可以布置有将所述结晶化的基板沿第二方向移送的至少一个移送装置。

在一实施例中，所述移送装置包括：基板支架，支撑所述结晶化的基板；和移送部，将所述基板支架沿第二方向移送；以及导向部，将所述结晶化的基板向第二方向引导。

在一实施例中，所述第一方向可以是相对于所述结晶化的基板的垂直方向，所述第二方向可以是相对于所述结晶化的基板的水平方向。

在一实施例中，所述光源可以位于所述结晶化的基板的下侧，所述摄像元件以及偏光板可以位于所述结晶化的基板的上侧。