[发明专利]五维支撑调整座以及光学元件夹持装置

说明书

本发明提供一种五维支撑调整座以及光学元件夹持装置。本发明的五维支撑调整座包括：底座体；支撑架，设置在底座体上，能够沿Z轴的方向移动；以及依次设置在支撑架内的第一移动板、第二移动板和调整板，其中，支撑架具有底板、与Z轴的方向相垂直的端板、以及两个与X轴的方向相垂直的侧板，第一移动板设置在端板的内表面上，能够沿X轴的方向移动，第二移动板设置在第一移动板上，能够沿Y轴的方向移动，调整板设置在第二移动板上用于安装光学元件夹持机构，能够分别绕X轴和Y轴相对于第二移动板转动，五维支撑调整座还包括支撑架紧定件、第一移动板紧定件以及第二移动板紧定件。

技术领域

本发明属于激光干涉检测设备技术领域，具体涉及一种五维支撑调整座以及包含该五维支撑调整座的光学元件夹持装置。

背景技术

随着光学元件的加工精度越来越高，激光干涉检测仪器的要求也越来也高。调整座作为激光干涉检测仪器的重要部分，其主要功能是实现光学元器件和其他被测件等在空间内一个或多个自由度的高精度调整及定位，因此调整座的精度、分辨力以及稳定性是影响被测光学元件测量精度的重要因素，因此研究调整架对光学元器件的加工及检测有着重大意义。

现有的五维调整座虽然能够实现光学元件五个自由度的调整及定位，但存在着机械间隙、摩擦磨损和容易出现爬行现象等缺点，使其不能满足高精度精密测量的要求。

发明内容

本发明是为了解决上述问题而进行的，目的在于提供一种五维支撑调整座以及包含该五维支撑调整座的光学元件夹持装置。

为了实现上述目的，本发明采用了如下技术方案：

<结构一>

本发明提供了一种五维支撑调整座，用于对光学元件夹持机构进行支撑并对该光学元件夹持机构进行三维直线移动调整以及二维倾斜调整，其特征在于，包括：底座体；支撑架，设置在底座体上，能够沿Z轴的方向移动；以及依次设置在支撑架内的第一移动板、第二移动板和调整板，其中，支撑架具有底板、与该底板的一个端部相连接并且与Z轴的方向相垂直的端板、以及两个分别与底板的两个侧部相连接并且与X轴的方向相垂直的侧板，第一移动板设置在端板的内表面上，能够沿X轴的方向移动，第二移动板设置在第一移动板上，能够沿Y轴的方向移动，调整板设置在第二移动板上用于安装光学元件夹持机构，能够分别绕X轴和Y轴相对于第二移动板转动，五维支撑调整座还包括支撑架紧定件、第一移动板紧定件以及第二移动板紧定件，支撑架紧定件沿Y轴的方向布置并设置在底座体的一个侧部，底板上设有与该支撑架紧定件的形状相匹配并且沿Z轴的方向延伸的紧定凹槽，支撑架紧定件的一端伸入紧定凹槽而与该紧定凹槽的底壁相触接，从而消除支撑架和底座体在Y轴的方向上的间隙震动，第一移动板紧定件沿Z轴的方向布置并设置端板上，第一移动板紧定件的一端与第一移动板的侧壁相触接，从而消除第一移动板和端板在Z轴的方向上的间隙震动，第二移动板紧定件具有分别位于第二移动板的两个侧部的两个弹性紧定件，弹性紧定件的两端分别与第二移动板和第一移动板的侧部相连接，从而消除第二移动板和第一移动板在Z轴的方向上的间隙震动。

本发明提供的五维支撑调整座，还可以具有这样的特征：还包括：倾斜调整单元，用于将调整板安装在第二移动板并对调整板进行倾斜调整，其中，倾斜调整单元包含支撑组件以及第一调整组件和第二调整组件，支撑组件设置在调整板的一个角部区域，并且与第二移动板相连接，第一调整组件和第二调整组件分别设置在调整板上互为对角的两个角部区域，并且与第二移动板相连接，第一调整组件的中心和支撑组件的中心的连线沿Y轴的方向，第二调整组件的中心和支撑组件的中心的连线沿X轴的方向。

本发明提供的五维支撑调整座，还可以具有这样的特征：其中，支撑组件含有作为支撑轴承的滚动轴承、支撑轴以及支撑弹簧，支撑轴承嵌设在调整板上，支撑轴的一端与第二移动板相连接，另一端与支撑轴承的内圈相连接，支撑弹簧套设在支撑轴位于调整板和第二移动板之间的部分的外部。