[发明专利]波束扫描装置以及包括波束扫描装置的光学装置

权利要求书

1.一种波束扫描装置，包括：

多个天线谐振器，在行方向和列方向上二维地设置；

多个行电压线，被配置为在所述行方向上提供多个行驱动电压；

多个列电压线，被配置为在所述列方向上提供多个列驱动电压；以及

驱动电压转换电路，被配置为基于从所述多个行电压线中的每一个行电压线提供的行驱动电压以及从所述多个列电压线中的每一个列电压线提供的列驱动电压，控制被施加到所述多个天线谐振器中的每一个天线谐振器的驱动电压。

2.根据权利要求1所述的波束扫描装置，其中，所述多个行电压线被配置为同时提供所述多个行驱动电压，并且

所述多个列电压线被配置为同时提供所述多个列驱动电压。

3.根据权利要求1所述的波束扫描装置，其中，所述多个行驱动电压中的每一个行驱动电压和所述多个列驱动电压中的每一个列驱动电压处于0V与阈值电压之间的范围内，并且

其中，所述阈值电压是所述多个天线谐振器中的每一个天线谐振器引起的反射光的相移最大时的电压。

4.根据权利要求3所述的波束扫描装置，其中，所述行方向上由所述多个行电压线中的每一个行电压线提供的所述多个驱动电压中的每一个驱动电压具有锯齿状电压分布，所述锯齿状电压分布在所述行方向上以周期线性地变化。

5.根据权利要求4所述的波束扫描装置，其中，所述多个行电压线包括：第一行电压线，提供在0V与所述阈值电压之间的第一电压；第二行电压线，提供在0V与所述阈值电压之间的第二电压；以及至少一个行电压线，设置在所述第一行电压线与所述第二行电压线之间，并且提供在所述第一电压与所述第二电压之间线性增大或减小的电压。

6.根据权利要求3所述的波束扫描装置，其中，由所述多个列电压线中的每一个列电压线提供的所述多个列驱动电压中的每一个列驱动电压具有锯齿状电压分布，所述锯齿状电压分布在所述列方向上以周期线性地变化。

7.根据权利要求6所述的波束扫描装置，其中，所述多个列电压线包括：第一列电压线，提供在0V与所述阈值电压之间的第三电压；第二列电压线，提供在0V与所述阈值电压之间的第四电压；以及至少一个列电压线，设置在所述第一列电压线与所述第二列电压线之间，并且提供在所述第三电压与所述第四电压之间线性增大或减小的电压。

8.根据权利要求1所述的波束扫描装置，其中，所述驱动电压转换电路包括：

第一变换电路，被配置为将从与所述驱动电压转换电路相对应的行电压线提供的行驱动电压和从与所述驱动电压转换电路相对应的列电压线提供的列驱动电压相加；

第二变换电路，被配置为基于所述第一变换电路的输出电压小于所述多个天线谐振器中的每一个天线谐振器引起的反射光的相移最大时的阈值电压，输出所述第一变换电路的输出电压，并且基于所述第一变换电路的输出电压大于所述阈值电压，输出通过从所述第一变换电路的输出电压中减去所述阈值电压而得到的电压；以及

第三变换电路，被配置为根据被施加到所述多个天线谐振器中的每一个天线谐振器的电压和所述多个天线谐振器中的每一个天线谐振器引起的反射光的相移之间的非线性，改变所述第二变换电路的输出电压。

9.根据权利要求8所述的波束扫描装置，其中，所述多个天线谐振器中的每一个天线谐振器包括：

电极层；

设置在所述电极层上的有源层；

设置在所述有源层上的绝缘层；以及

设置在所述绝缘层上的天线层，并且

其中，所述第三变换电路的输出端电连接到所述天线层或所述电极层。

10.根据权利要求8所述的波束扫描装置，其中，所述第一变换电路包括运算放大器，所述运算放大器包括第一输入端口、第二输入端口和输出端口，并且

其中，所述运算放大器的所述第一输入端口连接到所述行电压线，所述运算放大器的所述第二输入端口连接到所述列电压线，并且所述运算放大器的所述输出端口连接到所述第二变换电路的输入端。