[发明专利]沉降式自蔓延硅氮化物反应器

权利要求书

1.一种沉降式自蔓延硅氮化物反应器，其中包括：

炉体；

固料入口，开设于炉体上部，以引导含硅固料进入炉体内，其中，所述固料入口上配置有脉冲气动组件，通过脉冲气动方式推进含硅固料进入炉体；

气体入口，开设于炉体侧部，配置为通入氮气后在炉体内以与所述含硅固料形成自蔓延反应，反应区域对应为在炉体内的反应区；

出料口，开设于炉体底部，配置为输出经自蔓延反应后的硅氮化物；

收集料盘和传送带，设置于出料口下方，用于收集出料口输出的硅氮化物并传送；

冷却单元，位于所述炉体下部，环绕炉体设置，以冷却炉体内的硅氮化物；

其中，所述脉冲气动组件包括控制固料进入的第一阀门，控制动力气体进入的第二阀门，以及电性控制该第一阀门和第二阀门开启或关闭的控制器；所述控制器配置为提供脉冲式电流间断性开启或关闭第一阀门和第二阀门。

2.根据权利要求1所述的反应器，其中，所述炉体包括炉盖，所述固料入口穿过该炉盖后进入炉体内。

3.根据权利要求2所述的反应器，其中，所述炉盖开设有可开闭通孔，以供操作人员观察炉体内部反应状况。

4.根据权利要求3所述的反应器，其中，所述通孔均匀分布于以炉盖中心为圆心的一圆环上。

5.根据权利要求1所述的反应器，其中，所述炉体位于反应区的内壁上设置有耐火保温隔热层。