[发明专利]一种基于特征频谱带阻滤波的寄生条纹消除方法及装置

权利要求书

1.一种基于特征频谱带阻滤波的寄生条纹消除方法，其特征在于，包括：

获取含有寄生条纹的干涉仪采斑测量面形数据矩阵f(x,y)；

计算寄生条纹的相关参数和所述面形数据矩阵f(x,y)频谱放大倍数N；

根据所述相关参数和放大倍数N，对寄生条纹的频谱和频域特征进行处理，生成频谱数据；

对所述频谱数据进行FFT反变换，得到消除寄生条纹的面形数据；

其中，计算寄生条纹的相关参数和所述面形数据矩阵f(x,y)频谱放大倍数N，包括：

提取所述面形数据矩阵f(x,y)中的局部数据，所述局部数据为：含有寄生条纹，且不含有去除函数形状；计算所述寄生条纹的空间周期T和相对于X轴的角度α；

计算所述面形数据矩阵f(x,y)频谱放大倍数N；

根据所述相关参数和放大倍数N，对寄生条纹的频谱和频域特征进行处理，生成频谱数据，包括：

对所述面形数据矩阵f(x,y)进行Quad Flip操作；

采用复调制细化频谱算法，根据频谱放大倍率为N，计算Quad Flip操作后的面形数据矩阵qf(x,y)的频谱数据QF(x,y)；

根据所述寄生条纹相对于X轴的角度α，在所述频谱数据QF(x,y)中，查找寄生条纹的频域特征；

将所述寄生条纹的频域特征区域置零，得到处理后的频谱数据QF₁(x,y)；

采用快速傅立叶变换，进行频域位置匹配，生成频谱数据QF₄(x,y)；

采用快速傅立叶变换，进行频域位置匹配，生成频谱数据QF₄(x,y)，包括：

采用快速傅立叶变换，计算所述面形数据矩阵qf(x,y)频谱，得到QF₂(x,y)；

将去除寄生条纹频谱的数据QF₁(x,y)进行缩小，缩小倍数为N，得到QF₃(x,y)；

将QF₂(x,y)中心位置区域第一预设范围内的数据替换为QF₃(x,y)，得到频谱位置匹配后的数据QF₄(x,y)。

2.如权利要求1所述的一种基于特征频谱带阻滤波的寄生条纹消除方法，其特征在于，对所述频谱数据进行FFT反变换，得到消除寄生条纹的面形数据，包括：

将所述QF₄(x,y)频谱数据进行FFT反变换得到qf₄(x,y)面形数据，提取第二预设范围内的数据，得到消除寄生条纹的面形检测数据qf₅(x,y)。