[发明专利]一种结合丝网印刷与激光表面熔敷的氮化铝陶瓷覆铜方法

权利要求书

1.一种结合丝网印刷与激光表面熔敷的氮化铝陶瓷覆铜方法，其特征在于，包括如下步骤：

（1）氧化铜粉末与有机配料进行配比制成的浆料的制备；

（2）对氮化铝基板进行清洗，并对氮化铝陶瓷表面进行氧化；

（3）将配置好的浆料通过丝网印刷，印刷到氮化铝基板上并将基板放入炉中烘干；

（4）利用激光表面熔敷对铜板进行激光表面熔化，控制激光扫描速度分别为60-100mm/min；具体步骤为在氧化铜层表面铺盖厚度均匀的铜板，用激光扫描对铜板进行分层熔化，铜板保证每处厚度相等以使溶化后瞬时凝固均匀；确保激光打印后铜层的厚度在0.3~0.7mm；

（5）对熔敷后表面进行机械加工抛光。

2.根据权利要求1所述的结合丝网印刷与激光表面熔敷的氮化铝陶瓷覆铜方法，其特征在于，步骤（2）具体为：将氮化铝陶瓷进行丙酮、酒精的超声清洗，进而对氮化铝陶瓷表面进行氧化，氧化铝的厚度控制在1~4μm。

3.根据权利要求2所述的结合丝网印刷与激光表面熔敷的氮化铝陶瓷覆铜方法，其特征在于，在对氮化铝表面进行氧化时，将其置于氧分压为0.001~0.5atm的流动保护气氛中，气氛由氧气、氩气以1：4的比例混合而成，后升温至1100~1500℃再保温。

4.根据权利要求1所述的结合丝网印刷与激光表面熔敷的氮化铝陶瓷覆铜方法，其特征在于，步骤（3）具体为：将氧化后的氮化铝陶瓷作为承印物，通过丝网印刷将氧化铜粉制成的浆料印刷到氧化后的氮化铝陶瓷表面，印刷压力为50~100N，氧化铜粉厚度5~10μm；再放入到真空连接炉中，选用Ar气作为保护气，加热温度区间为1100~1200℃，同时施压5MPa，压合时间1.5小时。

5.根据权利要求1所述的结合丝网印刷与激光表面熔敷的氮化铝陶瓷覆铜方法，其特征在于，激光表面熔敷的工艺参数为电流350A、脉冲为5.5ms、频率为7Hz、光斑的大小为2.4mm。

6.根据权利要求1所述的结合丝网印刷与激光表面熔敷的氮化铝陶瓷覆铜方法，其特征在于，浆料的配置：将氧化铜封接焊料研磨成氧化铜粉末，然后将氧化铜粉末与有机配料进行混料，形成具有合适粘稠度，不粘附、不扩边的浆料，其可经网孔顺利转移到氮化铝基板，有机配料包括丁酮、PVB和酒精。

7.根据权利要求1或4所述的结合丝网印刷与激光表面熔敷的氮化铝陶瓷覆铜方法，其特征在于，丝网印刷用的目数为200，烘干温度为150~200℃，烘干时间为1~2小时。