[发明专利]一种抗冲蚀涂层及其制备方法与应用、工程材料

权利要求书

1.一种抗冲蚀涂层，其特征在于，所述抗冲蚀涂层包括多个层叠设置的周期涂层，每一所述周期涂层包括由下至上依次层叠设置的CrN_x层、CrN层、Cr_yMe_（1-y）N_x层和Cr_yMe_(1-y)N层，其中x为0.3-0.7，0.3＜y＜0.7，Me选自Al、Si和AlSi中的一种；

每一所述周期涂层的厚度为200 nm-400 nm；每一所述周期涂层中，所述CrN_x层的厚度为8 nm-75 nm；所述CrN层的厚度为72 nm-120 nm；所述Cr_yMe_（1-y）N_x层的厚度为32 nm-25nm；所述Cr_yMe_(1-y)N层的厚度为25 nm-288 nm；

每一所述周期涂层中，所述CrN_x层与所述CrN层的厚度比为1:10-1:1；所述Cr_yMe_（1-y）N_x层与所述Cr_yMe_(1-y)N层的厚度比为1:10-1:1；每一所述周期涂层中，所述CrN_x层和所述CrN层的总厚度与所述Cr_yMe_（1-y）N_x层和所述Cr_yMe_(1-y)N层的总厚度之比为1:5-5:1；

所述CrN_x层及所述Cr_yMe_（1-y）N_x层的制备方法均包括：以氩气和氮气为反应气体，于气压为0.5 Pa-1.5 Pa、脉冲负偏压为50 V-200 V、靶电流为60 A-100 A、电磁电压为15 V-45 V以及电磁频率为2.4 Hz-33.3 Hz的条件下进行脉冲电磁驱动电弧离子镀处理；其中，所述CrN_x层以Cr靶为靶材，所述Cr_yMe_（1-y）N_x层以CrMe靶为靶材；

所述CrN层和Cr_yMe_(1-y)N层的制备方法均包括：以氮气为反应气体，于气压为1.5 Pa^-4Pa、脉冲负偏压为50 V-200 V、靶电流为60 A-100 A、电磁电压为15 V-45 V以及电磁频率为2.4 Hz-33.3 Hz的条件下进行脉冲电磁复合磁场驱动电弧离子镀处理；其中，所述CrN层以Cr靶为靶材，所述Cr_yMe_(1-y)N层以CrMe靶为靶材；

制备所述CrN_x层及所述Cr_yMe_（1-y）N_x层时的氮气流量为100 sccm-300 sccm，氩气流量为80 sccm-120 sccm；制备所述CrN层和所述Cr_yMe_(1-y)N层时的氮气流量为400 sccm-1000sccm。

2.根据权利要求1所述的抗冲蚀涂层，其特征在于，所述抗冲蚀涂层的硬度为2361 HV-2638 HV。

3.根据权利要求1所述的抗冲蚀涂层，其特征在于，所述抗冲蚀涂层在30°攻角下冲蚀速率为0.028 μm/g -0.053 μm/g。

4.根据权利要求1所述的抗冲蚀涂层，其特征在于，所述抗冲蚀涂层在90°攻角下冲蚀速率为1.417 μm/g -1.732 μm/g。

5.根据权利要求1所述的抗冲蚀涂层，其特征在于，所述抗冲蚀涂层的总厚度为3 μm-60 μm。

6.根据权利要求5所述的抗冲蚀涂层，其特征在于，所述抗冲蚀涂层的总厚度为6 μm-30 μm。