[发明专利]基于低温液体冷却的扫描电子显微镜制冷系统及方法在审
| 申请号： | 201910411593.3 | 申请日： | 2019-05-17 |
| 公开（公告）号： | CN110189973A | 公开（公告）日： | 2019-08-30 |
| 发明（设计）人： | 陈六彪;王俊杰;郭嘉;季伟;顾开选 | 申请（专利权）人： | 中国科学院理化技术研究所 |
| 主分类号： | H01J37/20 | 分类号： | H01J37/20;H01J37/26;F25D3/10 |
| 代理公司： | 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 | 代理人： | 苗青盛;韩世虹 |
| 地址： | 100190 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 扫描电子显微镜 低温液体 样品台 真空腔体 制冷系统 冷头 冷却 冷量 气源 冷却技术 时间维持 温度波动 零振动 潜热 制冷 | ||
1.一种基于低温液体冷却的扫描电子显微镜制冷系统，包括：容器、第一真空腔体和第二真空腔体，其特征在于，还包括样品台、低温冷头以及气源；所述样品台设置于所述容器上，所述低温冷头用于为所述容器提供冷量，所述气源用于为所述容器提供气体，所述低温冷头位于所述第一真空腔体的内部，所述容器和所述样品台位于所述第二真空腔体的内部。
2.根据权利要求1所述的基于低温液体冷却的扫描电子显微镜制冷系统，其特征在于，所述低温冷头通过冷量输运通道与所述容器相连通，所述冷量输运通道上设置有第一热开关。
3.根据权利要求1所述的基于低温液体冷却的扫描电子显微镜制冷系统，其特征在于，所述低温冷头的冷源为低温制冷机，所述低温制冷机安装于第一基座上；所述低温制冷机位于所述第一真空腔体的内部，所述第一基座位于所述第一真空腔体的外部。
4.根据权利要求3所述的基于低温液体冷却的扫描电子显微镜制冷系统，其特征在于，所述第一基座和所述第二真空腔体位于第二基座上，所述第二基座还连接有减振单元。
5.根据权利要求1所述的基于低温液体冷却的扫描电子显微镜制冷系统，其特征在于，所述气源包括气瓶，所述气瓶通过气体输运通道与所述容器相连通，所述气体输运通道上设置有阀门，所述气瓶和所述阀门均位于所述第二真空腔体的外部。
6.根据权利要求5所述的基于低温液体冷却的扫描电子显微镜制冷系统，其特征在于，所述气体输运通道上还设置有第二热开关，所述第二热开关位于所述第二真空腔体的内部。
7.根据权利要求1所述的基于低温液体冷却的扫描电子显微镜制冷系统，其特征在于，所述第一真空腔体和所述第二真空腔体相互连通。
8.根据权利要求7所述的基于低温液体冷却的扫描电子显微镜制冷系统，其特征在于，所述第一真空腔体和所述第二真空腔体的真空度均为0Pa～105Pa。
9.一种使用权利要求1至8任一项所述的基于低温液体冷却的扫描电子显微镜制冷系统的基于低温液体冷却的扫描电子显微镜制冷方法，其特征在于，包括：
当所述样品台处于未被观测状态时，所述低温冷头将冷量输送至所述容器，所述气源将气体充入至所述容器；
当所述样品台处于被观测状态时，切断所述低温冷头和所述容器之间的冷量输送，所述气源停止将气体充入至所述容器。
10.根据权利要求9所述的基于低温液体冷却的扫描电子显微镜制冷方法，其特征在于，还包括：
当所述样品台处于被观测状态预设时间时，重启所述低温冷头和所述容器之间的冷量输送。
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