[发明专利]一种抗静电的宽带高透射减反射膜

权利要求书

1.一种抗静电的宽带高透射减反射膜，包括基底以及设置在所述基底上的多层膜；其特征在于，所述的多层膜包括一层透明导电膜以及高折射率电介质膜、中间折射率电介质膜、次低折射率电介质膜和低折射率电介质膜；

所述的透明导电膜为铟锡氧化物膜；

所述的基底为折射率1.4至1.9的光学玻璃或光学塑料；

所述的高折射率电介质膜为二氧化钛膜；

所述的中间折射率电介质膜为三氧化二铝膜；

所述的次低折射率电介质膜为二氧化硅膜；

所述的低折射率电介质膜为氟化镁膜；

所述的多层膜的膜层总数为17层，所述的多层膜的总膜厚为1046.2nm，从所述基底开始，第1层至第17层依次为：第1层为三氧化二铝膜，第2层为二氧化钛膜，第3层为三氧化二铝膜，第4层为二氧化钛膜，第5层为三氧化二铝膜，第6层为二氧化钛膜，第7层为三氧化二铝膜，第8层为二氧化钛膜，第9层为三氧化二铝膜，第10层为二氧化钛膜，第11层为二氧化硅膜，第12层为三氧化二铝膜，第13层为二氧化钛膜，第14层为三氧化二铝膜，第15层为二氧化钛膜，第16层为铟锡氧化物膜，第17层为氟化镁膜，铟锡氧化物膜的厚度为9nm；

所述的铟锡氧化物膜的掺杂质量比为氧化锡∶氧化铟=9∶91。