[发明专利]一种基于MEMS微振镜和光栅的微型光谱成像装置在审
| 申请号： | 201910413641.2 | 申请日： | 2019-05-17 |
| 公开（公告）号： | CN110095187A | 公开（公告）日： | 2019-08-06 |
| 发明（设计）人： | 张瑞;王志斌;李孟委;李克武;赵宏波;解琨阳 | 申请（专利权）人： | 中北大学 |
| 主分类号： | G01J3/06 | 分类号： | G01J3/06;G01J3/02;G01J3/28 |
| 代理公司： | 北京志霖恒远知识产权代理事务所(普通合伙) 11435 | 代理人： | 申绍中 |
| 地址： | 030051 山*** | 国省代码： | 山西;14 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 光栅 一维扫描 振镜 二维扫描振镜 光谱成像装置 点探测器 光谱成像 微振 阵列探测器 被测目标 多维信息 二维扫描 光谱扫描 光学系统 依次设置 体积小 功耗 探测 测量 | ||
1.一种基于MEMS微振镜和光栅的微型光谱成像装置，其特征在于：包括依次设置的MEMS二维扫描振镜（1）、MEMS一维扫描振镜（3）和高速光电点探测器（5），所述MEMS一维扫描振镜（3）上设有光栅；目标光依次经过MEMS二维扫描振镜（1）和MEMS一维扫描振镜（3）后被高速光电点探测器（5）探测，通过MEMS二维扫描振镜（1）进行二维扫描，通过带光栅的MEMS一维扫描振镜（3）进行光谱扫描，结合高速光电点探测器（5）实现光谱成像。
2.根据权利要求1所述的一种基于MEMS微振镜和光栅的微型光谱成像装置，其特征在于：MEMS二维扫描振镜（1）与MEMS一维扫描振镜（3）之间以及MEMS一维扫描振镜（3）与高速光电点探测器（5）之间分别设有光阑。
3.根据权利要求1所述的一种基于MEMS微振镜和光栅的微型光谱成像装置，其特征在于：所述光栅为凹面反射光栅。
4.根据权利要求1所述的一种基于MEMS微振镜和光栅的微型光谱成像装置，其特征在于：所述MEMS二维扫描振镜（1）可以实现X、Y轴的旋转；所述MEMS一维扫描振镜（3）可以实现Y轴的旋转。
5.根据权利要求1所述的一种基于MEMS微振镜和光栅的微型光谱成像装置，其特征在于：MEMS二维扫描振镜（1）和MEMS一维扫描振镜（3）均采用谐振式振动扫描；MEMS一维扫描振镜（3）的谐振频率大于MEMS二维扫描振镜（1）的谐振频率。
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