[发明专利]一种纳米压入仪用低温装置

权利要求书

1.一种纳米压入仪用低温装置，其特征在于：该装置包括样品台（3）与基底（1），样品台（3）右部中心设置柱状孔，该柱状孔内设置节流微制冷器（2），该柱状孔与外接排气口（14）、高压气氛入口（16）及开关阀（15）相连，样品台的右端与实心基底（1）相连；样品台左侧端部设置样品（12），在样品（12）旁设有柱状孔便于安装湿度传感器（6）；外层保护罩（5）右侧的内壁上设置嵌入的橡胶圈（4），橡胶圈（4）的内侧安装在样品台（3）的外侧，外层保护罩（5）的下侧设有柱状孔作为惰性气体入口（13）；内层保护罩（9）右侧内部设置橡胶圈（4），内层保护罩（9）外壁设置有加热毯（7），内层保护罩（9）左侧顶部设有柱状孔作为压头入口（11），内层保护罩（9）下壁设置有柱状孔，与惰性气体入口（13）联通；外层保护罩（5）左侧设置密封板（10），在密封板中部设置压头入口（11）；在外层保护罩（5）、内层保护罩（9）的上侧设置柱状孔安装密封的可视摄像头（8）。

2.如权利要求1所述的一种纳米压入仪用低温装置，其特征在于，所述的节流微制冷器（2）采用等焓膨胀的焦耳-汤姆逊效应，来快速制冷。

3.如权利要求1所述的一种纳米压入仪用低温装置，其特征在于，所述湿度传感器（6）埋入在样品台（3）内部。

4.如权利要求1所述的一种纳米压入仪用低温装置，其特征在于，所述加热毯（7）包裹在内层保护罩（9）外面，通过加热毯（7）加热及通过惰性气体入口（13）通入惰性气流的方式来排除装置内的水蒸气。

5.如权利要求1所述的一种纳米压入仪用低温装置，其特征在于，所述样品台（3）通过采用外层保护罩（5）、内层保护罩（9）以及密封板（10）来保证装置的密封性。

6.如权利要求1所述的一种纳米压入仪用低温装置，其特征在于，所述密封板（10）为多层设计的密封板结构，在多层设计的密封板中，各密封板中的通孔大小不一致，形状不一致。

7.如权利要求6所述的一种纳米压入仪用低温装置，其特征在于，所述密封板（10），各密封板中的通孔为圆形或椭圆形，各椭圆形通孔的轴线重合，椭圆形的长轴不重叠。