[发明专利]一种多光子聚合三维纳米直写的运动定位系统

权利要求书

1.一种多光子聚合三维纳米直写的运动定位系统，包括XY宏动运动装置(1)、移动平台(2)以及激光偏摆装置(3)，所述的移动平台(2)与XY宏动运动装置(1)连接，XY宏动运动装置(1)能够驱动移动平台(2)沿X轴和Y轴方向移动；所述的激光偏摆装置(3)位于XY宏动运动装置(1)上方用于驱动偏摆镜(34)运动；其特征在于，还包括减振微动平台(4)，所述的减振微动平台(4)包括XY轴微动模块和Z轴微动模块(41)，所述的Z轴微动模块(41)的一端与移动平台(2)连接，另一端与XY轴微动模块连接，待加工的产品位于XY轴微动模块上；所述的激光偏摆装置(3)包括用于安装激光偏摆装置(3)的固定板(31)、第一减振机构(32)、柔性放大机构(33)和偏摆镜(34)，柔性放大机构(33)的一端与偏摆镜(34)的底座连接，另一端与第一减振机构(32)连接，第一减振机构(32)的另一端与固定板(31)连接；

所述的柔性放大机构(33)内设有第一压电陶瓷(35)；所述的柔性放大机构(33)设有多组，多组柔性放大机构(33)相互配合驱动偏摆镜(34)摆动。

2.根据权利要求1所述的一种多光子聚合三维纳米直写的运动定位系统，其特征在于，所述的XY轴微动模块包括基板(42)、X轴位移机构(43)、Y轴位移机构(44)、第二减振机构(45)以及用于放置待加工产品的微动加工平台(46)，在所述的基板(42)上设有用于安装X轴位移机构(43)和Y轴位移机构(44)的第一安装槽、用于安装微动加工平台(46)的第二安装槽；所述的微动加工平台(46)的四周均设有第二减振机构(45)，位于X轴运动方向上对称设置的两个第二减振机构(45)，其中一个第二减振机构(45)与X轴位移机构(43)的输出端连接，另一个与第二安装槽的侧壁连接；位于Y轴运动方向上对称设置的两个第二减振机构(45)，其中一个与Y轴位移机构(44)的输出端连接，另一个与第二安装槽的侧壁连接。

3.根据权利要求2所述的一种多光子聚合三维纳米直写的运动定位系统，其特征在于，所述的X轴位移机构(43)和Y轴位移机构(44)的结构相同，均包括第一菱形位移放大器(431)和第二压电陶瓷(432)；所述的第一菱形位移放大器(431)设于第一安装槽内；所述的第二压电陶瓷(432)设于第一菱形位移放大器(431)的空腔中，通过输入安装块与第一菱形位移放大器(431)的输入端连接，第一菱形位移放大器(431)的输出端通过输出安装块(433)与第二减振机构(45)连接。

4.根据权利要求2所述的一种多光子聚合三维纳米直写的运动定位系统，其特征在于，所述的Z轴微动模块(41)包括第二菱形位移放大器(411)和第三压电陶瓷(412)，所述的第二菱形位移放大器(411)竖向设置，底部与移动平台(2)连接，顶部输出端通过输出安装块(433)与微动加工平台(46)的底部连接；所述的第三压电陶瓷(412)设于第二菱形位移放大器(411)的空腔中，通过输入安装块与第二菱形位移放大器(411)的输入端连接。

5.根据权利要求2至4任一项所述的一种多光子聚合三维纳米直写的运动定位系统，其特征在于，所述的柔性放大机构(33)竖向设置，第一压电陶瓷(35)横向设置；所述的柔性放大机构(33)共设有三组，三组柔性放大机构(33)呈正三菱柱结构设置；每组柔性放大机构(33)均连接有一个第一减振机构(32)。

6.根据权利要求5所述的一种多光子聚合三维纳米直写的运动定位系统，其特征在于，在所述的XY宏动运动装置(1)上架设有龙门架(5)，在龙门架(5)上设有第一安装架(51)，第一安装架(51)上设有位移装置，所述的激光偏摆装置(3)通过固定板(31)安装于位移装置上，所述的位移装置能够驱动激光偏摆装置(3)移动；在所述的龙门架(5)上还设有用于安装激光装置的第二安装架(52)。