[发明专利]掩膜板装置及其设置方法与应用方法

说明书

本发明涉及一种掩膜板装置及其设置方法与应用方法，所述掩膜板装置包括框架、支撑架、安装柱、磁性片及磁性板。所述掩膜板装置的设置方法包括框架提供步骤、支撑架安装步骤、安装柱设置步骤、磁性片设置步骤及磁性板设置步骤。本发明的技术效果在于，掩膜板装置可适用于蒸镀不同尺寸的产品，无需张网工艺，节约成本，提高成品率。

技术领域

本发明涉及掩膜板领域，特别涉及一种掩膜板装置及其设置方法与应用方法。

背景技术

有机电致发光显示器(OLED)以其自发光，响应速度快，高对比度，轻薄，低功耗，视角广等优点，被视为未来终端显示技术。目前有机发光层主要采用真空蒸镀技术来实现，在高真空金属腔室内，利用金属或有机材料受热升华或蒸发，中间经过带有图案的金属掩模板(Mask)，在基板上蒸镀具有一定图案的发光层薄膜。

目前OLED利用金属掩模板主要有金属外框(Frame)和金属网(Sheet)组成，通过张网机把金属网(Sheet)焊接到金属外框(Frame)上。金属网(Sheet)是由刻蚀工艺完成。

现有技术的主要问题为：此种金属网价格昂贵，且张网设备投入大，技术难度大，良率低，成本高。难以实现在大尺寸成膜机台(G8.5以上)应用。在使用过程中易变形，造成产品缺陷，使用寿命短，维护保养成本高。

发明内容

本发明的目的在于，解决现有的掩膜板装置中掩膜板制作成本高、设备投入大、维护成本高的技术问题。

为实现上述目的，本发明提供一种掩膜板装置，包括：框架；支撑架，被安装至所述框架；至少一安装柱，突出于所述支撑架远离所述框架一侧的表面；至少一磁性片，每一磁性片的中部连接至一安装柱的顶部；以及磁性板，与所述支撑架相对设置，所述磁性板与所述支撑架分别位于所述磁性片的两侧。

进一步地，所述掩膜板装置用于遮掩一基板；所述磁性片与所述磁性板分别设于所述基板的两侧。

进一步地，所述磁性板包括：底板；以及磁石，设于所述底板远离所述磁性片一侧的表面；其中，一磁石与一磁性片对应设置。

进一步地，所述磁性片的长度范围为20mm～50mm；所述磁性片的宽度范围为1mm～20mm。

进一步地，所述磁性片中部的厚度大于其边缘处的厚度。

进一步地，所述磁石的磁力范围为300Gs～400Gs。

进一步地，所述支撑架包括两个以上相互垂直的支撑条。

进一步地，所述支撑架的材质包括铝合金。

为实现上述目的，本发明还提供一种掩膜板装置的设置方法，包括以下步骤：框架提供步骤，提供一框架；支撑架安装步骤，在所述框架上安装至少一支撑架；安装柱设置步骤，在所述支撑架的上表面设置至少一安装柱；磁性片设置步骤，在所述支撑架上设置磁性片，使得每一磁性片的中部连接至一安装柱的顶部；以及磁性板设置步骤，在所述磁性片上方设置一磁性板，使得所述磁性板与所述支撑架分别位于所述磁性片的两侧。

为实现上述目的，本发明还提供一种掩膜板装置的应用方法，包括以下步骤：框架提供步骤，提供一框架；支撑架安装步骤，在所述框架上安装至少一支撑架；安装柱设置步骤，在所述支撑架的上表面设置至少一安装柱；磁性片设置步骤，在所述支撑架上设置磁性片，使得每一磁性片的中部连接至一安装柱的顶部；基板放置步骤，在所述磁性片的上方放置一基板；磁性板设置步骤，在所述基板的上方设置一磁性板，使得所述磁性板与所述磁性片分别位于所述基板的两侧；蒸镀源放置步骤，在所述框架的下方放置一蒸镀源；以及蒸镀步骤，上下移动所述磁性板，使得所述磁性片发生形变。