[发明专利]一种线缆牵拉刚度的调节装置及光刻机

说明书

本发明公开了一种线缆牵拉刚度的调节装置及光刻机。所述线缆牵拉刚度的调节装置包括：线缆张紧单元、线缆支架、振动检测传感器以及控制器；其中，控制器与线缆张紧单元以及振动检测传感器连接；线缆张紧单元位于固定台的支撑面上，线缆支架位于运动台的支撑面上，固定台和运动台相距预设距离设置；线缆张紧单元和线缆支架共同支撑多条线缆，多条线缆与线缆支架固定连接；振动检测传感器安装于运动台的支撑面上。本发明实施例提供的技术方案，减小了多条线缆的牵拉刚度，降低了固定台侧的振动通过多条线缆传递至运动台侧的几率，提升了运动台侧整体结构的稳定性。

技术领域

本发明实施例涉及光刻机技术领域，尤其涉及一种线缆牵拉刚度的调节装置及光刻机。

背景技术

光刻机又名掩模对准曝光机、曝光系统或光刻系统，是半导体产业的关键设备。

图1是现有技术中光刻机的侧视结构示意图。如图1所示，光刻机包括内部框架110和外部框架120，内部框架110用于搭载曝光物镜与关键核心测量系统，主要有接口功能、承载功能、减振功能和隔振功能，通过三组主动减震器130安装于外部框架120上，其中，主动减震器130能够将外部框架120的运动冲击、地基振动等扰动激励与内部框架110隔离开来，使内部世界中曝光系统及高精度测量系统获得优良的动态稳定性能。

图2是现有技术中光刻机的俯视结构示意图。如图2所示，为避免相互影响，内部框架110和外部框架120之间具有一间隙。用于实现内部世界中各部件与外部设备通信的线缆140会经过该间隙所在区域，该区域内的线缆140采用分别位于内部框架110和外部框架120上的两个线缆支架150支撑。光刻机的正常工作过程中，内部框架110的位移会发生变化，导致上述两个线缆支架150之间的距离发生变化，若设置两个线缆支架150之间的线缆140长度等于该两个线缆支架150之间的距离，易引起线缆140的弹塑性变形，因此，为避免上述问题的发生，现有技术中设置两个线缆支架150之间的线缆140长度大于该两个线缆支架150之间的距离，如图3所示。但随着光刻机整机性能的需求越来越高，线缆140数量增多，两个线缆支架150之间线缆140自身重量导致的牵拉力随之增大，使得线缆140的牵拉刚度变大，此外，相邻线缆140之间的摩擦力进一步增大线缆140的牵拉刚度，导致线缆140通过自身形变缓冲外部振动的能力降低，外部振动易通过线缆140传输至内部世界，影响内部世界的稳定性。

发明内容

本发明提供一种线缆牵拉刚度的调节装置及光刻机，以降低线缆的牵拉刚度，提升运动台侧部件的稳定性。

第一方面，本发明实施例提供了一种线缆牵拉刚度的调节装置，包括：

线缆张紧单元、线缆支架、振动检测传感器以及控制器；

其中，所述控制器与所述线缆张紧单元以及所述振动检测传感器连接；

所述线缆张紧单元位于固定台的支撑面上，所述线缆支架位于运动台的支撑面上，所述固定台和所述运动台相距预设距离设置；

所述线缆张紧单元和所述线缆支架共同支撑多条线缆，多条所述线缆与所述线缆支架固定连接；

所述振动检测传感器安装于所述运动台的支撑面上，所述振动检测传感器用于检测所述运动台的振动加速度，并将所述振动加速度传输给所述控制器；所述控制器用于根据接收到的所述振动加速度和预设振动加速度的比较结果，控制所述线缆张紧单元调节所述线缆张紧单元和所述线缆支架之间的多条所述线缆的长度。

第二方面，本发明实施例还提供了一种光刻机，包括上述第一方面所述的线缆牵拉刚度调节装置。