[发明专利]喷嘴清洗装置和喷嘴清洗方法

说明书

本发明提供了一种喷嘴清洗装置和喷嘴清洗方法，结构简单且可以自动完成清洗喷嘴功能。喷嘴清洗装置包括：第一槽体，冷却装置，第一清洗槽，第二清洗槽，盖合部，第一驱动机构，第二驱动机构，控制器；盖合部包括用于安装待清洗喷嘴的安装部，第一槽体、第一清洗槽以及第二清洗槽沿第一方向排列，第一驱动机构和第二驱动机构传动连接，第二驱动机构与盖合部传动连接，第一驱动机构用于驱动第二驱动机构沿第一方向运动，第二驱动机构驱动盖合部沿第二方向往复移动、以带动待清洗喷嘴插入第一槽体、第一清洗槽以及第二清洗槽中的任意一个；控制器根据预先存储的第一驱动机构和第二驱动机构移动信息，控制第一驱动机构、第二驱动机构运动。

技术领域

本发明涉及清洗技术领域，尤其涉及一种喷嘴清洗装置和喷嘴清洗方法。

背景技术

靶材作为高速荷能粒子轰击的目标材料，在微电子领域、显示器领域和存储器等领域被广泛应用。靶材在制备过程中，需要对衬管进行喷涂形成靶材，这就需要用到喷嘴，喷嘴在完成一次喷涂或在喷涂过程中出现堵塞时，需要将喷嘴拿去酸洗，通过酸洗将喷嘴内壁的残留物酸洗干净，以保证喷涂过程中喷嘴内壁不干净而发生粉末堵塞现象。

目前清洗主要靠操作者用夹钳夹持待清洗喷嘴放入清洗液中进行清洗，清洗后喷嘴自然吹干，操作较不方便，且由于酸性清洗液有腐蚀性，清洗过程中容易溅起对操作者造成危害。

发明内容

为了解决上述技术问题，本发明提供了一种喷嘴清洗装置和喷嘴清洗方法，结构简单且可以自动完成清洗喷嘴功能，操作方便。

本发明提供了一种喷嘴清洗装置，包括：第一槽体，设置于所述第一槽体上的冷却装置，第一清洗槽，第二清洗槽，盖合部，第一驱动机构，第二驱动机构，控制器；其中：

所述盖合部包括用于安装待清洗喷嘴的安装部，所述第一槽体、所述第一清洗槽以及所述第二清洗槽沿第一方向排列，所述第一驱动机构和所述第二驱动机构传动连接，所述第二驱动机构与所述盖合部传动连接，所述第一驱动机构用于驱动所述第二驱动机构沿所述第一方向运动，所述第二驱动机构驱动所述盖合部沿第二方向往复移动、以带动待清洗喷嘴插入所述第一槽体、所述第一清洗槽以及所述第二清洗槽中的任意一个；

所述控制器与所述第一驱动机构和所述第二驱动机构电连接，根据预先存储的所述第一驱动机构和所述第二驱动机构的移动信息，控制所述第一驱动机构、所述第二驱动机构运动。

本发明提供的喷嘴清洗装置，通过在控制器内预先存储的第一驱动机构和第二驱动机构的移动信息，控制第一驱动机构和第二驱动机构运动，进而可以带动待清洗喷嘴在第一槽体、第一清洗槽以及第二清洗槽中进行降温和清洗，该移动信息包括：第一驱动机构开始移动信息，第一驱动机构停止移动信息，第一驱动机构移动距离和方向信息，第一驱动机构停止运动的时长信息，第二驱动机构开始移动信息，第二驱动机构停止移动信息，第二驱动机构移动距离和方向信息，第二驱动机构停止运动的时长信息，第一驱动机构和第二驱动机构配合运动信息；在开始清洗时，第一槽体上的冷却装置可以对刚使用后的待清洗喷嘴进行降温处理，盖合部可以盖合每个槽的开口，防止清洗时清洗液溅射出来的现象发生。整个操作过程不需要操作者参与，控制器可以自动控制第一驱动机构和第二驱动机构。

故，本发明提供的喷嘴清洗装置，结构简单且可以自动完成清洗喷嘴功能，操作方便。

本发明还提供了一种应用于上述喷嘴清洗装置的喷嘴清洗方法，包括：

确定第一驱动机构和第二驱动机构的移动信息；

根据所述移动信息控制第一驱动机构和第二驱动机构移动，以带动待清洗喷嘴插入第一槽体、第一清洗槽、第二清洗槽内进行清洗。

本发明提供的喷嘴清洗方法，可以实现自动化清洗，清洗较方便。