[发明专利]具有悬置结构的MEMS设备及制造MEMS设备的方法

权利要求书

1.一种MEMS设备，包括：

本体，围绕枢轴枢转；

支持件；

悬置结构，将所述本体机械地耦合至所述支持件，

其中所述悬置结构包括限定所述枢轴的扭转元件以及第一弹簧元件和第二弹簧元件，所述第一弹簧元件和所述第二弹簧元件在所述扭转元件的相对侧上以相对于所述枢轴的角度延伸，使得所述第一弹簧元件和所述第二弹簧元件的至少部分之间的距离在所述枢轴的方向上改变；以及

突出部，在所述本体和所述支持件之间沿着所述枢轴延伸，其中所述突出部在位于所述本体与所述支持件之间的所述枢轴上的中间点处偶接到扭杆，

其中所述第一弹簧元件包括偶接到所述本体的第一端和偶接到所述支持件的第二端，所述第一弹簧元件从所述第一端延伸到所述第二端，并且相对于所述枢轴成所述角度，

其中所述第二弹簧元件包括偶接到所述本体的第三端和偶接到所述支持件的第四端，所述第二弹簧元件从所述第三端延伸到所述第四端，并且相对于所述枢轴成所述角度，

其中所述中间点在所述枢轴方向上位于所述第一端与所述第二端之间，并且在所述枢轴方向上位于所述第三端和所述第四端之间。

2.根据权利要求1所述的MEMS设备，其中所述悬置结构包括减压连杆，所述减压连杆将所述第一弹簧元件和所述第二弹簧元件以及所述扭转元件中的至少一个元件机械地耦合至所述支持件，其中所述减压连杆被配置为允许所述第一弹簧元件和所述第二弹簧元件以及所述扭转元件中的至少一个元件在它们的与所述减压连杆相邻的端部处沿所述枢轴的方向上的平移。

3.根据权利要求2所述的MEMS设备，其中所述减压连杆将所述第一弹簧元件和所述第二弹簧元件以及所述扭转元件机械地耦合至所述支持件，其中所述减压连杆被配置为允许所述第一弹簧元件和所述第二弹簧元件以及所述扭转元件在它们的与所述减压连杆相邻的端部处沿所述枢轴的方向上的平移。

4.根据权利要求1所述的MEMS设备，其中所述扭转元件以及所述第一弹簧元件和所述第二弹簧元件形成在材料层堆叠的一个或多个相同材料层中。

5.根据权利要求1所述的MEMS设备，其中所述扭转元件包括多个扭杆，和/或其中所述第一弹簧元件和所述第二弹簧元件中的每个元件均包括多个弹簧杆。

6.根据权利要求5所述的MEMS设备，其中所述多个扭杆彼此平行延伸，和/或其中所述多个弹簧杆彼此平行延伸。

7.根据权利要求1所述的MEMS设备，其中所述扭转元件包括至少一个扭杆，其中所述第一弹簧元件和所述第二弹簧元件中的每个元件均包括至少一个弹簧杆，并且其中所述扭杆在垂直于其纵向的方向上的最小宽度小于每个弹簧杆在垂直于其纵向的方向上的最小宽度。

8.根据权利要求1所述的MEMS设备，其中所述本体包括在所述第一弹簧元件和所述第二弹簧元件之间延伸并且机械地耦合至所述扭转元件的突出部。

9.根据权利要求1所述的MEMS设备，其中所述支持件包括在所述第一弹簧元件和所述第二弹簧元件之间延伸并且机械地耦合至所述扭转元件的突出部。

10.根据权利要求1所述的MEMS设备，其中所述第一弹簧元件和所述第二弹簧元件靠近所述本体的部分之间的距离大于所述第一弹簧元件和所述第二弹簧元件靠近所述支持件的部分之间的距离。

11.根据权利要求1所述的MEMS设备，其中所述悬置结构相对于所述枢轴对称地形成。

12.根据权利要求1所述的MEMS设备，包括位于所述本体的第一端处的所述悬置结构以及位于所述本体的第二端处的又一悬置结构。

13.根据权利要求12所述的MEMS设备，其中所述悬置结构和所述又一悬置结构相对于垂直于所述枢轴的平面对称。