[发明专利]磨削装置

权利要求书

1.一种磨削装置，其特征在于，包含：

主轴箱，其旋转驱动工件；

固定体，其具有引导面；

砂轮座，其旋转驱动砂轮并且具有与上述引导面对置的滑动面；

流体供给部，其向上述引导面与上述滑动面之间供给流体；以及

驱动部，其使经由上述流体被上述固定体支承为能够滑动的上述砂轮座相对于上述主轴箱沿着引导方向相对移动；

上述磨削装置分别使上述工件和上述砂轮旋转并且使上述砂轮相对于上述工件相对移动，由此磨削上述工件，

构成在上述引导面以及上述滑动面的至少一方配置多个静压腔，从上述流体供给部向上述各静压腔供给上述流体而滑动支承上述砂轮座的静压支承构造，

上述磨削装置还具备：

振动量传感器，其对上述砂轮的上下方向的振动量进行测定；

流量可变部，其改变从上述流体供给部向上述各静压腔供给的上述流体的流量；

控制部，其以减少由上述振动量传感器测定的上述砂轮的上下方向振动量的方式，控制上述流量可变部来调整向上述各静压腔供给的上述流体的流量；以及

检测上述砂轮的相位的相位传感器，

上述控制部具有基于上述相位传感器的输出和上述振动量传感器的输出，计算上述砂轮的不平衡相位以及不平衡量的不平衡计算部，上述控制部基于由上述不平衡计算部计算出的上述不平衡相位以及上述不平衡量和上述砂轮的相位，控制上述流量可变部。

2.根据权利要求1所述的磨削装置，其中，

上述振动量传感器是对上述砂轮的上下方向的位移进行测定的位移传感器。

3.根据权利要求2所述的磨削装置，其中，

上述位移传感器包含：对支承上述砂轮的砂轮轴的上下方向位移进行测定的砂轮轴传感器，以及被设置于上述各静压腔的附近并对上述滑动面的距上述引导面的上下方向位移进行测定的浮起传感器的至少一方。

4.根据权利要求2所述的磨削装置，其中，

上述位移传感器包含：对支承上述砂轮的砂轮轴的上下方向位移进行测定的砂轮轴传感器，以及被设置于上述各静压腔的附近并对上述滑动面的距上述引导面的上下方向位移进行测定的浮起传感器双方。

5.根据权利要求1所述的磨削装置，其中，

上述流量可变部是被安装在从上述流体供给部到上述各静压腔为止的上述流体的流路上，且被构成为能够改变阀的开度的电磁可变节流阀。

6.根据权利要求5所述的磨削装置，其中，

上述控制部有选择地控制与上述各静压腔对应的上述电磁可变节流阀。

7.根据权利要求1所述的磨削装置，其中，

上述控制部在针对工件的加工动作开始前，决定上述流量可变部针对上述各静压腔的流量调整模式，基于该流量调整模式来控制上述流量可变部并进行上述加工动作。