[发明专利]用于物体的粒子光学检查的粒子束系统和方法

权利要求书

1.一种粒子束系统，包括：

粒子源，该粒子源被配置成用于产生第一带电粒子束；

多粒子束发生器，该多粒子束发生器被配置成用于从第一入射带电粒子束中产生多条部分粒子束，这些部分粒子束在空间上在垂直于这些部分粒子束的传播方向的方向上间隔开，这多条部分粒子束至少包括第一部分粒子束和第二部分粒子束，

物镜，该物镜被配置成用于使入射的部分粒子束聚焦在第一平面中，其方式为使得该第一部分粒子束在该第一平面中入射在其上的第一区域与第二部分粒子束入射在其上的第二区域分开，以及

检测器系统，该检测器系统包括投射系统和多个检测区域，

其中：

该投射系统被配置成用于将由于这些入射的部分粒子束而离开该第一平面的交互产物投射到该多个检测区域上，

该投射系统和该多个检测区域彼此匹配，其方式为使得来自该第一平面的该第一区域的交互产物投射到该检测器系统的第一检测区域上，而来自该第一平面的该第二区域的交互产物投射到第二检测区域上，该第二检测区域至少部分不同于该第一检测区域，

该多个检测区域被配置成使得多个第一检测场与该第一检测区域相关联并且多个第二检测场与该第二检测区域相关联，

对于各个第一检测场，该第一检测场被配置成以独立于在其他检测场上入射的交互产物的方式检测入射在对应的第一检测场上的交互产物，

对于各个第二检测场，该第二检测场被配置成以独立于在其他检测场上入射的交互产物的方式检测入射在对应的第二检测场上的交互产物，

该粒子束系统另外包括控制器，该控制器被实施成用于从相关联的检测区域的这多个第一检测场和第二检测场分开地读出检测器信号并对其加以处理，

该控制器被配置成用于分析来自相关联的检测区域的这多个检测场的检测器信号，以及

该控制器被配置成用于以下中的至少一个：

基于该检测器信号的分析结果确定样品电荷效应，

基于该检测器信号的分析确定交互产物的强度分布与预期位置的位移，

基于该检测器信号的分析确定交互产物的强度分布与交互产物的预期分布的偏差，以及

基于该检测器信号的分析确定所述粒子束系统的重新调整信号。

2.如权利要求1所述的粒子束系统，其中，该控制器被配置成基于该检测器信号的分析结果产生电压衬度图像于显示器上。

3.如权利要求1所述的粒子束系统，其中，该控制器被配置成基于该检测器信号的分析确定检测的交互产物的强度分布与旋转对称性的偏差。

4.如权利要求1所述的粒子束系统，其中，该控制器被配置成基于该交互产物的强度分布与预期位置的位移确定样品表面相对于该第一平面的倾斜。

5.如权利要求1所述的粒子束系统，其中，该控制器被配置成基于该交互产物的强度分布与预期强度分布的偏差确定样品表面相对于该第一平面的倾斜。

6.如权利要求1所述的粒子束系统，其中，该控制器被配置成基于该检测器信号的分析确定关于样品形貌的信息。

7.如权利要求4所述的粒子束系统，其中，该样品表面的倾斜是基于在多于一个检测区域之上的检测场中的强度分布的位移来确定的。

8.如权利要求7所述的粒子束系统，其中，该控制器被配置成在多个检测区域上对该强度分布的位移加以平均以确定该样品表面的倾斜。

9.如权利要求1所述的粒子束系统，其中，该控制器被配置成确定该交互产物的强度分布与该交互产物的预期分布的偏差，以及基于该强度分布与该交互产物的预期强度分布的偏差确定重新调整信号。

10.如权利要求9所述的粒子束系统，其中，该重新调整信号是基于在多于一个检测场之上延伸的强度分布与旋转对称性的偏差来确定的。

11.如权利要求9所述的粒子束系统，其中，该控制器被配置成基于该重新调整信号激活自动化调整动作。