[发明专利]用于加工衬底材料的钝化层的探针

权利要求书

1.一种用于加工衬底材料的钝化层的探针，包括：

悬臂部分；

尖端，所述尖端位于所述悬臂部分末端并从所述悬臂部分突出；

所述尖端包括底座和从所述底座延伸的多个支撑臂，所述支撑臂呈弯曲形状，各所述支撑臂的一个端部连接到所述底座，各所述支撑臂远离所述底座的另一个端部连接至针尖部，所述针尖部与所述底座之间无接触；

其中所述底座内设有多个电极，所述支撑臂内设有导线，所述导线用于将所述多个电极与所述针尖部连接。

2.根据权利要求1所述的探针，其特征在于，

所述多个电极包括加热电极，所述加热电极用于将所述尖端加热至预定温度。

3.根据权利要求2所述的探针，其特征在于，

所述多个电极包括感测电极，所述感测电极用于感测所述尖端的温度。

4.根据权利要求3所述的探针，其特征在于，

所述感测电极是热敏电阻。

5.根据权利要求3所述的探针，其特征在于，

所述探针还包括控制器，所述控制器构造成将所述感测电极测得的温度与预定温度比较；且当所述感测电极测得的温度高于所述预定温度时，则降低所述加热电极的功率；而当所述感测电极测得的温度低于所述预定温度时，则增加所述加热电极的功率。

6.根据权利要求3所述的探针，其特征在于，

所述探针还包括控制器，所述控制器构造成将所述感测电极测得的温度与预定温度比较；且当所述感测电极测得的温度高于所述预定温度时，则停止所述加热电极的运行；而当所述感测电极测得的温度低于所述预定温度时，则开启所述加热电极的运行。

7.根据权利要求3所述的探针，其特征在于，

所述加热电极的数量为多个。

8.根据权利要求7所述的探针，其特征在于，

所述探针还包括控制器，所述控制器构造成将所述感测电极测得的温度与预定温度比较；且当所述感测电极测得的温度高于所述预定温度时，则减少正在运行的所述加热电极的数量；而当所述感测电极测得的温度低于所述预定温度时，则增加正在运行的所述加热电极的数量。

9.根据权利要求7所述的探针，其特征在于，

所述多个加热电极具有不同的功率。

10.根据权利要求9所述的探针，其特征在于，

所述探针还包括控制器，所述控制器构造成将所述感测电极测得的温度与预定温度比较；且当所述感测电极测得的温度高于或低于所述预定温度时，则选择不同的加热电极组合来减少或增加正在运行的所述加热电极的总功率。