[发明专利]一种高压功率模块封装结构有效
申请号: | 201910428010.8 | 申请日: | 2019-05-22 |
公开(公告)号: | CN110190049B | 公开(公告)日: | 2020-07-28 |
发明(设计)人: | 王来利;侯晓东;赵成;王见鹏;马定坤;杨成子;杨旭 | 申请(专利权)人: | 西安交通大学 |
主分类号: | H01L25/16 | 分类号: | H01L25/16;H01L23/488;H01L21/60 |
代理公司: | 西安通大专利代理有限责任公司 61200 | 代理人: | 范巍 |
地址: | 710049 *** | 国省代码: | 陕西;61 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 高压 功率 模块 封装 结构 | ||
1.一种高压功率模块封装结构,其特征在于,包括源极基板(1)、芯片子模块(2)、驱动基板(3)、驱动端子(4)、外壳(5)和漏极基板(6),驱动基板(3)设置于外壳(5)内,驱动端子(4)与驱动基板(3)连接,驱动端子(4)贯穿外壳(5)并伸出于外壳(5),源极基板(1)和漏极基板(6)分别与外壳(5)的两端密封连接;
所述芯片子模块(2)包括驱动连接基板(7)、功率源极金属块(8)、驱动栅极金属柱(9)、驱动源极金属柱(10)、碳化硅裸片(11)和绝缘结构(12),驱动栅极金属柱(9)的一端和驱动源极金属柱(10)的一端分别与碳化硅裸片(11)上的栅极(11-1)和源极(11-2)烧结,功率源极金属块(8)的一端与碳化硅裸片(11)上的源极(11-2)烧结,驱动连接基板(7)与驱动栅极金属柱(9)的另一端和驱动源极金属柱(10)的另一端均烧结,碳化硅裸片(11)的四周设置绝缘结构(12);
驱动连接基板(7)与驱动基板(3)烧结,功率源极金属块(8)的另一端贯穿驱动基板(3)并与源极基板(1)烧结,碳化硅裸片(11)的漏极(11-3)与漏极基板(6)烧结;
源极基板(1)、漏极基板(6)和外壳(5)围成的腔体内通过绝缘材料填充。
2.根据权利要求1所述的一种高压功率模块封装结构,其特征在于,驱动栅极金属柱(9)和驱动源极金属柱(10)均位于功率源极金属块(8)的同一侧。
3.根据权利要求1所述的一种高压功率模块封装结构,其特征在于,驱动连接基板(7)上开设有通孔,驱动连接基板(7)通过通孔套设在功率源极金属块(8)上,驱动连接基板(7)与功率源极金属块(8)之间留有间隙。
4.根据权利要求1所述的一种高压功率模块封装结构,其特征在于,驱动栅极金属柱(9)和驱动源极金属柱(10)的高度相同。
5.根据权利要求1所述的一种高压功率模块封装结构,其特征在于,所述烧结为纳米银烧结。
6.根据权利要求1所述的一种高压功率模块封装结构,其特征在于,所述外壳(5)为陶瓷外壳。
7.根据权利要求1所述的一种高压功率模块封装结构,其特征在于,所述绝缘材料为柔性绝缘材料。
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