[发明专利]一种蓝宝石金刚线多线切片机的切割工艺

权利要求书

1.一种蓝宝石金刚线多线切片机的切割工艺，其特征在于，包括以下步骤：

（1）将晶棒的圆形截面轴向分割为距离相等的60～100份；

（2）在切片设备程序控制界面依次设置各段圆形截面对应的坐标位置；

（3）在切片设备程序控制界面设置每个切割过程正向走线长度和反向走线长度；正向走线长度为600～1000米，反向走线长度为580～980米;正向走线长度大于反向走线长度;

（4）设置切片设备的金刚线运行速度和运行加速度；运行速度为20～25m/s，运行加速度为5～10m/s²；

（5）设置切片设备的正向进给和反向进给速度；正向进给速度为0.30～0.80mm/min，反向进给速度为10mm/s；

（6）设置切片设备的反向进给距离；反向进给距离为0.5～0.8mm；

（7）启动切片设备，进行晶棒切割，当金刚线进行减速或者加速运动时，切片设备的反向进给, 金刚线达到最大运行线速度时，工件平台做向下进给动作，当金刚线进行减速或者加速运动时，工作平台做向上的抬起动作，利用抬起的微小间隙，实现切割过程中的排屑，在整个晶棒切割过程中一直重复该循环切割过程。