[发明专利]光学部件的清洗方法以及清洗装置

权利要求书

1.一种光学部件的清洗方法，通过UV灰化而将光学部件的表面的有机物去除，其特征在于，

所述光学部件是配置于对工件照射激光的激光头内、且配置于使所述激光会聚的聚焦透镜与工件之间的防护玻璃，

所述清洗方法具有如下工序：

清洗工序，向所述激光头内的流路供给进行了湿度管理的加湿气体，以使激光头内的湿度成为30％～90％，并对所述光学部件的表面以规定时间照射紫外线来进行基于UV灰化的清洗；和

吹扫工序，在所述清洗工序结束后，停止所述加湿气体的供给，并相对于所述流路进行基于N₂气体的吹扫，

所述加湿气体从与向所述流路供给N₂气体的气体管连接且配置有止回阀的加湿气体管，以比所述N₂气体的供给压力低的供给压力供给。

2.根据权利要求1所述的光学部件的清洗方法，其特征在于，所述加湿气体的温度控制在所述激光头内的温度以下。

3.根据权利要求1或2所述的光学部件的清洗方法，其特征在于，在所述加湿气体中含有氧气或者空气。

4.一种光学部件的清洗装置，清洗激光加工机的光学部件，该激光加工机具有：

激光头，其在通过驱动机构来搬送所载置的工件的工件搬送装置的上方、通过移动机构能够在XYZ方向上移动地支承，在内部具有用于激光照射的光学部件；和

控制装置，其控制所述驱动机构以及所述移动机构，

所述清洗装置的特征在于，具有：

紫外线照射装置，其配置在所述工件搬送装置的上方或者所述工件搬送装置的侧方，以使从所述激光头照射的激光光轴与所照射的紫外线的紫外线光轴平行的方式设置；和

加湿器，其是向所述激光头内供给加湿气体的加湿器，与加湿气体管连结，该加湿气体管与对所述激光头供给切割气体的切割气体管连接且配置有止回阀，所述加湿气体的供给压力比所述切割气体的供给压力设定得低，

所述控制装置进行照射控制和供给控制，其中，该照射控制为在控制所述移动机构使紫外线照射口与所述激光头的激光照射口相对的状态下，从所述紫外线照射装置向着所述光学部件照射紫外线，该供给控制为在所述照射控制中通过所述加湿器向所述激光头内供给加湿气体。

5.一种光学部件的清洗方法，通过UV灰化而将光学部件的表面的有机物去除，其特征在于，

所述光学部件是配置于对工件照射激光的激光头内、且配置于使所述激光会聚的聚焦透镜与工件之间的防护玻璃，

所述清洗方法具有如下工序：

清洗工序，向所述激光头内的流路供给进行了湿度管理的加湿气体，以使激光头内的湿度成为30％～90％，并对所述光学部件的表面以规定时间照射紫外线来进行基于UV灰化的清洗；和

吹扫工序，在所述清洗工序结束后，停止所述加湿气体的供给，并相对于所述流路进行基于N₂气体的吹扫，

所述紫外线从所述激光头的加工焦点的位置、或者比该位置离所述光学部件更近的位置，向着所述光学部件照射。

6.一种光学部件的清洗装置，清洗激光加工机的光学部件，该激光加工机具有：

激光头，其在通过驱动机构来搬送所载置的工件的工件搬送装置的上方、通过移动机构能够在XYZ方向上移动地支承，在内部具有用于激光照射的光学部件；和

控制装置，其控制所述驱动机构以及所述移动机构，

所述清洗装置的特征在于，具有：

紫外线照射装置，其配置在所述工件搬送装置的上方或者所述工件搬送装置的侧方，以使从所述激光头照射的激光光轴与所照射的紫外线的紫外线光轴平行的方式设置；和

加湿器，其是向所述激光头内供给加湿气体的加湿器，与加湿气体管连结，该加湿气体管与对所述激光头供给切割气体的切割气体管连接且配置有止回阀，

所述控制装置进行照射控制和供给控制，其中，该照射控制为在控制所述移动机构使紫外线照射口与所述激光头的激光照射口相对的状态、且所述紫外线照射口的位置处于所述激光头的加工焦点的位置、或者比该位置离所述光学部件更近的位置的状态下，从所述紫外线照射装置向着所述光学部件照射紫外线，该供给控制为在所述照射控制中通过所述加湿器向所述激光头内供给加湿气体。