[发明专利]一种浸泡喷淋刻蚀方法及设备

权利要求书

1.一种浸泡喷淋刻蚀设备，其特征在于，包括：刻蚀装置、配液装置、出液管和补液管，所述刻蚀装置包括刻蚀槽，所述配液装置包括配液槽，所述出液管连通所述刻蚀槽的底部和所述配液槽的底部，用于药液从刻蚀槽底部流向配液槽底部，所述补液管连通所述刻蚀装置和配液装置，用于药液从配液装置流向刻蚀装置；其中，所述刻蚀装置还包括上喷淋器、支撑板，所述上喷淋器位于所述支撑板的上侧，所述上喷淋器与所述补液管连通，所述药液没过基底的高度为10-50mm。

2.根据权利要求1所述的浸泡喷淋刻蚀设备，其特征在于，所述支撑板为框架结构。

3.根据权利要求1所述的浸泡喷淋刻蚀设备，其特征在于，所述支撑板包括固定装置。

4.根据权利要求3所述的浸泡喷淋刻蚀设备，其特征在于，所述固定装置采用销钉。

5.根据权利要求1所述的浸泡喷淋刻蚀设备，其特征在于，所述刻蚀装置还包括滚轮，所述支撑板设置在滚轮上。

6.根据权利要求1所述的浸泡喷淋刻蚀设备，其特征在于，所述上喷淋器包括上药水管和设置于上药水管上的若干上喷嘴，所述上药水管与所述补液管连通。

7.根据权利要求6所述的浸泡喷淋刻蚀设备，其特征在于，所述上喷嘴与所述支撑板的距离为10-50mm。

8.根据权利要求7所述的浸泡喷淋刻蚀设备，其特征在于，所述上喷嘴与所述支撑板的距离为30mm。

9.根据权利要求6所述的浸泡喷淋刻蚀设备，其特征在于，所述上药水管为多个，每两个相邻的上药水管上的上喷嘴相互错开。

10.根据权利要求6所述的浸泡喷淋刻蚀设备，其特征在于，所述刻蚀装置还包括下喷淋器，所述下喷淋器位于所述支撑板的下侧，所述下喷淋器与所述补液管连通。

11.根据权利要求10所述的浸泡喷淋刻蚀设备，其特征在于，所述下喷淋器包括下药水管和设置在下药水管上的若干下喷嘴，所述下药水管与所述补液管连通。

12.根据权利要求11所述的浸泡喷淋刻蚀设备，其特征在于，所述下喷嘴与所述支撑板的距离为10-50mm。

13.根据权利要求12所述的浸泡喷淋刻蚀设备，其特征在于，所述下喷嘴与所述支撑板的距离为30mm。

14.根据权利要求11所述的浸泡喷淋刻蚀设备，其特征在于，所述下药水管为多个，每两个相邻的下药水管上的下喷嘴相互错开。

15.根据权利要求11所述的浸泡喷淋刻蚀设备，其特征在于，所述下喷淋器还包括阀门。

16.根据权利要求11所述的浸泡喷淋刻蚀设备，其特征在于，所述上喷嘴和下喷嘴为单口的喷嘴。

17.根据权利要求1所述的浸泡喷淋刻蚀设备，其特征在于，所述配液装置上设置药液添加口。

18.根据权利要求17所述的浸泡喷淋刻蚀设备，其特征在于，所述药液添加口为2个，分别用于添加盐酸和双氧水。

19.根据权利要求1所述的浸泡喷淋刻蚀设备，其特征在于，所述配液装置设置电导率表、比重计和双氧水检测装置，用于检测药液成分的含量。

20.根据权利要求1所述的浸泡喷淋刻蚀设备，其特征在于，所述配液装置还包括搅拌器。