[发明专利]一种二维兰姆波谐振器

权利要求书

1.一种二维兰姆波谐振器，其特征在于，包括：第一电极阵列、第二电极阵列；所述第一电极阵列、所述第二电极阵列分别布置于压电层的上下两面；

所述第一电极阵列包括沿第一方向排列的多条第一正电极列、多条第一负电极列，所述第一正电极列和所述第一负电极列交替排布；所述第一正电极列包括多个第一正电极，相邻的两个所述第一正电极通过电桥连接；所述第一负电极列包括多个第一负电极，相邻的两个所述第一负电极通过电桥连接；

所述第二电极阵列包括沿第二方向排列的多条第二正电极列、多条第二负电极列，所述第二正电极列和所述第二负电极列交替排布；所述第二正电极列包括多个第二正电极，相邻的两个所述第二正电极通过电桥连接；所述第二负电极列包括多个第二负电极，相邻的两个所述第二负电极通过电桥连接；

所述电桥下方的压电层设置有沟槽，使得所述电桥不接触压电材料的表面；

所述第一方向和所述第二方向互相垂直；所述第一电极阵列中的任意一个所述第一正电极向所述第二电极阵列的正投影覆盖其中一个所述第二负电极，所述第一电极阵列中的任意一个所述第一负电极向所述第二电极阵列的正投影覆盖其中一个所述第二正电极。

2.根据权利要求1所述的二维兰姆波谐振器，其特征在于，所述第一正电极、所述第一负电极、所述第二正电极、所述第二负电极的电极形状相同。

3.根据权利要求2所述的二维兰姆波谐振器，其特征在于，所述电极形状为圆形、方形、六边形、八边形中的一种。

4.根据权利要求1所述的二维兰姆波谐振器，其特征在于，所述第一正电极、所述第一负电极、所述第二正电极、所述第二负电极的电极材料相同，采用铂、钼、锌、铝中的一种，所述电桥的材料采用铂、钼、锌、铝中的一种。

5.根据权利要求1所述的二维兰姆波谐振器，其特征在于，所述沟槽穿透所述压电层。

6.根据权利要求1所述的二维兰姆波谐振器，其特征在于，所述沟槽具有第一刻蚀深度，且所述沟槽不穿透所述压电层。

7.根据权利要求1所述的二维兰姆波谐振器，其特征在于，所述沟槽中填充有具有正温漂系数的材料，所述压电层采用具有负温漂系数的材料。

8.根据权利要求7所述的二维兰姆波谐振器，其特征在于，所述具有正温漂系数的材料选用二氧化硅，所述具有负温漂系数的材料选用氮化铝、锆钛酸铅、铌酸锂、氧化锌中的一种。

9.根据权利要求7所述的二维兰姆波谐振器，其特征在于，所述压电层和所述电桥之间的缝隙中填充有所述具有正温漂系数的材料。