[发明专利]蒸镀装置及其驱动组件的控制方法

权利要求书

1.一种蒸镀装置，其特征在于，包括：加热装置、坩埚以及多个喷嘴；其中，

所述加热装置正对于所述坩埚进行设置；

所述坩埚设置在所述加热装置与所述喷嘴之间，用于盛放蒸镀材料；

多个所述喷嘴等间距的设置在所述坩埚背离所述加热装置的表面；

其中，所述喷嘴包括喷嘴本体、第一盖体、第二盖体以及控制器，所述喷嘴本体设有连通所述坩埚的腔体，所述第二盖体可活动地设置于所述喷嘴本体的远离所述坩埚的一侧，所述第二盖体设置有开孔以在所述第二盖体遮盖所述坩埚的所述腔体时连通所述腔体，所述第一盖体可活动地设置于所述第二盖体的远离所述喷嘴本体的一侧，所述控制器用于控制所述第二盖体遮盖或不遮盖所述坩埚的所述腔体，以及用于控制所述第一盖体遮盖或不遮盖所述第二盖体的所述开孔。

2.根据权利要求1所述的蒸镀装置，其特征在于，所述喷嘴为空心圆柱形，所述坩埚为立方体或是圆柱体。

3.根据权利要求2所述的蒸镀装置，其特征在于，多个所述喷嘴设置在背离所述加热装置的表面，并与所述坩埚之间呈一定的预设角度。

4.根据权利要求3所述的蒸镀装置，其特征在于，所述预设角度为90度。

5.根据权利要求1所述的蒸镀装置，其特征在于，还包括驱动组件，与所述第一盖体和所述第二盖体连接，所述第一盖体可转动地连接于所述第二盖体，所述第二盖体可转动地连接于所述喷嘴本体，所述驱动组件用于接收控制信号以驱动所述第一盖体或是所述第二盖体转动。

6.根据权利要求5所述的蒸镀装置，其特征在于，所述第一盖体或是所述第二盖体为圆形或是矩形。

7.根据权利要求6所述的蒸镀装置，其特征在于，所述第一盖体的横截面的面积小于所述第二盖体的横截面的面积，且小于所述喷嘴的内圆圆截面的面积；所述第二盖体横截面的面积小于所述喷嘴外圆圆截面的面积。

8.一种蒸镀装置驱动组件的控制方法，其特征在于，所述蒸镀装置为权利要求1至7任一项所述的蒸镀装置，所述方法包括：

S10，测量蒸镀薄膜层的厚度；

S20，若所述蒸镀薄膜层部分区域厚度偏薄，则控制所述区域所对应的所述喷嘴的所述第二盖体不遮挡所述腔体，而控制其他区域对应的所述喷嘴的所述第二盖体遮挡所述腔体而所述第一盖体遮挡所述第二盖体的所述开孔，或所述其他区域对应的所述喷嘴的所述第二盖体遮挡所述腔体而所述第一盖体不遮挡所述第二盖体的所述开孔；S30，若所述蒸镀薄膜层部分区域厚度偏厚，则由程序向控制器发出信号，则控制所述区域所对应的所述喷嘴的所述第一盖体遮挡所述第二盖体的所述开孔和所述第二盖体遮挡所述腔体，或所述区域对应的所述喷嘴的所述第二盖体遮挡所述腔体而所述第一盖体不遮挡所述第二盖体的所述开孔，而控制所述其他区域所对应的所述喷嘴的所述第二盖体不遮挡所述腔体；

S40，若所述蒸镀薄膜层的厚度整体一致，则继续进行蒸镀。