[发明专利]阵列微针式柔性肌电电极及其制备方法在审
| 申请号： | 201910431566.2 | 申请日： | 2019-05-22 |
| 公开（公告）号： | CN110141233A | 公开（公告）日： | 2019-08-20 |
| 发明（设计）人： | 祁一洲;叶柳顺;陈颖 | 申请（专利权）人： | 浙江荷清柔性电子技术有限公司 |
| 主分类号： | A61B5/0492 | 分类号： | A61B5/0492 |
| 代理公司： | 上海波拓知识产权代理有限公司 31264 | 代理人： | 李萌 |
| 地址： | 310000 浙江省杭州市经济技术开发*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 微针 肌电电极 柔性基底 制备 蜿蜒状延伸 微针阵列 延伸性 布设 表皮 延展 | ||
1.一种阵列微针式柔性肌电电极，其特征在于：包括柔性基底、微针及导线，所述微针阵列布设于所述柔性基底上，所述导线设置于所述柔性基底上，每一所述微针均与一所述导线相连，所述导线呈蜿蜒状延伸。
2.如权利要求1所述的阵列微针式柔性肌电电极，其特征在于：所述导线包括基线层、导线本体及保护层，所述基线层设置于所述柔性基底上，所述导线本体设置于所述基线层上，所述保护层覆盖于所述导线本体上。
3.如权利要求2所述的阵列微针式柔性肌电电极，其特征在于：所述微针包括微针本体及导电层，所述微针本体设置于所述柔性基底上，所述导电层覆盖于所述微针本体上，所述微针本体与所述基线层一体成型。
4.如权利要求3所述的阵列微针式柔性肌电电极，其特征在于：所述导电层与所述导线本体相连，且所述导电层与所述导线本体一体成型。
5.如权利要求4所述的阵列微针式柔性肌电电极，其特征在于：所述导电层及所述导线本体均包括第一金属层及第二金属层，所述第一金属层形成于所述基线层上，所述第二金属层形成于所述第一金属层上，所述保护层覆盖于所述第二金属层上。
6.如权利要求2所述的阵列微针式柔性肌电电极，其特征在于：所述基线层、所述导线本体及所述保护层的形状相同。
7.一种阵列微针式柔性肌电电极的制作方法，其特征在于：该方法包括如下步骤：
提供电极胚板，在所述电极胚板上形成有阵列设置的微针本体；
在所述微针本体上形成导电层，并在所述电极胚板的板面上形成导线本体，使每一所述微针本体上的导电层均与一所述导线本体相连；
在所述导线本体上形成保护层；
提供一柔性基底，将形成有保护层的电极胚板固定至所述柔性基底上；
去除所述微针本体上导电层的区域外及所述导线本体上保护层的区域外的所述电极胚板。
8.如权利要求7所述的阵列微针式柔性肌电电极的制作方法，其特征在于：该方法还包括，制作电极胚板，并在所述电极胚板上一体形成阵列设置的微针本体。
9.如权利要求7所述的阵列微针式柔性肌电电极的制作方法，其特征在于：在所述微针本体上形成导电层，并在所述电极胚板的板面上形成导线本体的步骤中，其还包括：
在所述电极胚板上形成导电胚层，去掉所述微针本体的区域外及所述导线本体的区域外的导电胚层。
10.如权利要求7所述的阵列微针式柔性肌电电极的制作方法，其特征在于：所述导线本体在所述电极胚板的板面上呈蜿蜒状延伸。
11.如权利要求7所述的阵列微针式柔性肌电电极的制作方法，其特征在于：在所述导线本体上形成保护层后，该方法还包括：
在所述导电层上及所述保护层上覆盖掩膜牺牲层；
以及在去除所述微针本体上导电层的区域外及所述导线本体上保护层的区域外的所述电极胚板后，去掉所述掩膜牺牲层。
12.如权利要求11所述的阵列微针式柔性肌电电极的制作方法，其特征在于：所述掩膜牺牲层为钛金属层。
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