[发明专利]多晶硅棒在审
| 申请号： | 201910431751.1 | 申请日： | 2019-05-23 |
| 公开（公告）号： | CN110550634A | 公开（公告）日： | 2019-12-10 |
| 发明（设计）人： | 星野成大;祢津茂义;冈田哲郎;石田昌彦 | 申请（专利权）人： | 信越化学工业株式会社 |
| 主分类号： | C01B33/035 | 分类号： | C01B33/035 |
| 代理公司： | 11219 中原信达知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 穆德骏;安翔 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 多晶硅棒 单晶硅 晶粒 西门子法 晶片 粒径 位错 培育 制造 采集 筛选 | ||
【权利要求书】：
1.一种多晶硅棒，其是通过西门子法培育出的多晶硅棒，其特征在于，
在从除硅芯线部分以外的区域采集晶片并进行评价的情况下，粒径为100nm以下的大小的晶粒以面积比例计占3％以上。
2.根据权利要求1所述的多晶硅棒，其中，所述晶片是以硅芯线的轴向为主面的方向的晶片。
3.根据权利要求1所述的多晶硅棒，其中，所述晶片是以与硅芯线的轴向成垂直的径向为主面的方向的晶片。
4.根据权利要求1～3中任一项所述的多晶硅棒，其中，所述100nm以下的大小的晶粒以面积比例计占6％以上。
5.根据权利要求1～3中任一项所述的多晶硅棒，其中，所述多晶硅棒是以三氯硅烷或甲硅烷为原料培育成的多晶硅棒。
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