[发明专利]石墨芯结构的高温裂解金属蒸发源

权利要求书

1.一种石墨芯结构的高温裂解金属蒸发源，包括：

坩埚，用于盛放镀膜材料；

石墨芯裂解器，其设置于所述坩埚内的中部，且位于所述镀膜材料上方，其上设置有连通所述镀膜材料与所述坩埚外部环境的通道；所述通道为螺旋形通孔；所述螺旋形通孔包括三个，三个所述螺旋形通孔沿所述石墨芯裂解器的周向均匀设置；加热单元，其环绕所述坩埚的侧壁设置，用于加热所述坩埚中的所述镀膜材料，使其蒸发并穿过所述石墨芯裂解器上的通道；所述加热单元为电阻丝加热器，该电阻丝加热器中的电阻丝与所述坩埚之间间隔设置；所述电阻丝由所述坩埚的顶部延伸至所述坩埚的底部所在的平面以下；

隔热层，其环绕所述加热单元设置，用于隔绝所述加热单元与外界的能量交换。

2.根据权利要求1所述的石墨芯结构的高温裂解金属蒸发源，还包括：

上盖板，其沿所述坩埚的杯口边缘设置，用于固定并支撑所述坩埚；以及

下盖板，其与所述上盖板对应设置，并与所述坩埚的底部留有距离；

所述上盖板和所述下盖板之间设置有所述隔热层；

其中，所述下盖板上还设置有底部保温层。

3.根据权利要求2所述的石墨芯结构的高温裂解金属蒸发源，所述上盖板的底部和所述下盖板的顶部分别相对设置有N阶阶梯型凸起；

N层所述隔热层分别贴合N阶所述阶梯型凸起的侧面并嵌设在所述上盖板和所述下盖板之间，N≥1。

4.根据权利要求3所述的石墨芯结构的高温裂解金属蒸发源，其中：

N＝5；

所述上盖板和所述下盖板之间设置有M根支撑杆件，M≥2；

该支撑杆件设置于五层所述隔热层中任意两层之间。

5.根据权利要求1所述的石墨芯结构的高温裂解金属蒸发源，所述石墨芯裂解器为高纯石墨，所述高纯石墨的纯度不低于99.9％。

6.根据权利要求1所述的石墨芯结构的高温裂解金属蒸发源，所述石墨芯裂解器的直径与所述坩埚的内径相等。

7.根据权利要求4所述的石墨芯结构的高温裂解金属蒸发源，其中：

所述螺旋形通孔的螺距介于30mm至50mm之间，高度介于30mm至50mm之间，倾斜角度介于40°至50°之间。

8.根据权利要求7所述的石墨芯结构的高温裂解金属蒸发源，电阻丝加热器中的电阻丝与所述坩埚之间间隔设置，其间距介于0.5cm至1cm之间。

9.根据权利要求8所述的石墨芯结构的高温裂解金属蒸发源，还包括：

绝缘片，其分别设置于所述坩埚的杯口处，所述坩埚的中部和所述坩埚的底部；

陶瓷管支撑架，其设置于相邻的两片所述绝缘片之间，以及最下端的所述绝缘片的底部，用于撑起所述绝缘片；

其中，所述绝缘片上设置有通孔，用于穿过所述电阻丝；

所述坩埚底部的所述绝缘片的边缘超出所述坩埚的外侧面，该绝缘片的边缘超出所述坩埚的外侧面的距离介于0.5cm至1cm之间；

所述电阻丝沿所述绝缘片的周向均匀排列。

10.根据权利要求9所述的石墨芯结构的高温裂解金属蒸发源，其中：

所述坩埚的材质包括：热解氮化硼；

所述上盖板和所述下盖板的材质包括：热压氮化硼或其他绝缘耐高温的材料；

所述电阻丝的材质包括：钼、钽、铌或其结合；

所述隔热层的材质包括：钼或钽；

所述支撑杆件的材质包括：钼或不锈钢；

所述绝缘片的材质包括：热解氮化硼。