[发明专利]一种迈克尔逊干涉仪及其数显传动装置

说明书

本发明公开了一种数显传动装置，包括导轨以及设于所述导轨上方的丝杆，所述导轨的两端分别与定位板和尾座固定连接，所述丝杆的两端分别穿入所述定位板和所述尾座且转动连接，所述丝杆与滑动组件螺纹连接，所述丝杆上设有压紧套接的蜗轮，所述蜗轮一侧设有与所述蜗轮啮合传动的细调组件，所述丝杆的轴端设有同轴转动的粗调组件，所述丝杆的轴端还设有用于获取显示所述滑动组件的滑动位置的数显组件。本发明还公开了一种包括上述数显传动装置的迈克尔逊干涉仪。上述数显传动装置通过粗调组件与细调组件以实现高精度高调节细度的位置调节，零件加工要求大大降低，加工变得容易，成本降低，装调简易，且舒适度好，读数直接。

技术领域

本发明涉及光学仪器技术领域，特别涉及一种数显传动装置。还涉及一种迈克尔逊干涉仪。

背景技术

迈克尔逊干涉仪是根据光的干涉原理制成的一种光学精密仪器，它可以对光波的波长、微小长度、光源的相干长度等进行精密测量，这样就要求仪器的传动装置的精度特别高，且调节细度也要求很高，要能测量出0.0001mm的微小位移变化，才能满足仪器的要求。

在第一种现有技术中，迈克尔逊干涉仪的高精度传动系统采用长刻尺读数加手轮刻划细分读数加蜗轮蜗杆进一步细分手轮刻划读数的复杂结构，此种结构要求蜗轮蜗杆的加工精度特别高，加工时难度高，成本高，装配时需要进行精细的研磨配合，且舒适程度不好，测量时要经过三个读数装置所读的数值结合起来才能得到最终的数值，过程繁锁，耗时。

在另一种现有技术中，传动系统取消了蜗轮蜗杆的结构，将编码器直接安装在丝杆上，丝杆端头安装一个手轮，用来转动丝杆，编码器与数显表相连接，测量结果可直接显示在数显表上，此种结构虽然简易，易加工，读数直接，但调节细度不够，要求实验时，操作者的操作精准度特别高，否则很容易越过理想的位置。

因此，如何能够提供一种零件加工要求低、易于加工、成本低、装调简易、舒适度好、易于读数的高精度高调节细度的数显传动装置是本领域技术人员亟需解决的技术问题。

发明内容

本发明的目的是提供一种数显传动装置，通过粗调组件与细调组件以实现滑动组件高精度高调节细度的位置调节，零件加工要求大大降低，加工变得容易，成本降低，装调简易，且舒适度好，读数直接。本发明的另一目的是提供一种包括上述数显传动装置的迈克尔逊干涉仪。

为实现上述目的，本发明提供一种数显传动装置，包括导轨以及设于所述导轨上方且与所述导轨同向延伸的丝杆，所述导轨的两端分别与定位板和尾座固定连接，所述丝杆的两端分别穿入所述定位板和所述尾座且转动连接，所述丝杆与用于沿所述丝杆滑动的滑动组件螺纹连接，所述丝杆上设有压紧套接的蜗轮，所述蜗轮一侧设有与所述蜗轮啮合传动的用以实现所述滑动组件的滑动位置的精细调节的细调组件，所述丝杆的轴端设有用以实现所述滑动组件的滑动位置的粗略调节的粗调组件，所述丝杆的轴端还设有用于获取显示所述滑动组件的滑动位置的数显组件。

优选地，所述数显组件包括与所述丝杆同轴转动的编码器以及与所述编码器相连的数显表。

优选地，所述粗调组件为粗调手轮，所述丝杆穿出所述定位板后依次穿入所述编码器和所述粗调手轮，所述编码器与所述粗调手轮分别设有第二顶丝和第三顶丝以实现与所述丝杆的同轴转动，所述粗调手轮和所述定位板之间设有外壳。

优选地，所述编码器和所述蜗轮之间设有轴承座，所述轴承座与所述丝杆螺纹连接，所述轴承座中设有第二轴承，所述第二轴承与所述蜗轮之间设有摩擦片，所述摩擦片与所述丝杆间隙配合。

优选地，所述定位板上设有第二支座和第三支座，两个所述第三支座通过螺钉与所述定位板固定连接，两个所述第二支座分别通过螺钉与两个所述第三支座固定连接，所述编码器通过螺钉在两个所述第二支座之间固定。