[发明专利]位移检测方式的力传感器

权利要求书

1.一种力传感器，包括：

第一基板部；

第二基板部，与所述第一基板部分离配置；

第三基板部，与所述第二基板部分离配置；

第一桥梁部，用于对所述第一基板部进行定位；

第二桥梁部，用于对所述第二基板部进行定位；

第三桥梁部，用于对所述第三基板部进行定位；

第一连结部，连结所述第一基板部和所述第一桥梁部；

第二连结部，连结所述第二基板部和所述第二桥梁部；

第三连结部，连结所述第三基板部和所述第三桥梁部；

第一支柱部，连结所述第一桥梁部和所述第二桥梁部；

第二支柱部，连结所述第二桥梁部和所述第三桥梁部；

第一检测部，检测所述第一基板部和所述第二基板部的相对位移；以及

第二检测部，检测所述第二基板部和所述第三基板部的相对位移，

所述力传感器的特征在于，

所述第一基板部和所述第一连结部中的至少一方构成为能够弹性变形，

所述第二支柱部构成为能够弹性变形，

所述第一检测部将根据所述第一基板部和所述第二基板部的沿着第一轴的相对移动以及所述第一基板部和所述第二基板部的绕沿着与所述第一轴正交的平面的中心轴线的相对旋转中的至少一方而变化的值作为第一检测值进行检测，

所述第二检测部将根据所述第二基板部和所述第三基板部的沿着与所述第一轴正交的平面的相对移动以及绕沿着所述第一轴的中心轴线的相对旋转中的至少一方而变化的值作为第二检测值进行检测，

所述力传感器具备第一缓和部和第二缓和部中的至少一个，所述第一缓和部设置在所述第一基板部、所述第一连结部、所述第二基板部和所述第二连结部中的至少一个，并且能够沿着与所述第一轴正交的平面弹性变形，所述第二缓和部设置在所述第二基板部、所述第二连结部、所述第三基板部和所述第三连结部中的至少一个，并且能够沿着所述第一轴弹性变形。

2.根据权利要求1所述的力传感器，其特征在于，

所述第一检测部检测出的所述第一检测值是用于获取所述第一轴的方向的力分量、绕与所述第一轴正交的第二轴的力的力矩分量及绕与所述第一轴和所述第二轴两方正交的第三轴的力的力矩分量的值，

所述第二检测部检测出的所述第二检测值是用于获取所述第二轴的方向的力分量、所述第三轴的方向的力分量及绕所述第一轴的力的力矩分量的值。

3.根据权利要求1所述的力传感器，其特征在于，

所述第一基板部具备沿着与所述第一轴正交的平面延伸的2个以上的所述第一连结部，

各个所述第一连结部在所述力传感器受到力时弹性变形，使得所述第一基板部和所述第二基板部相对地产生向沿着所述第一轴的方向的移动、或者绕沿着与所述第一轴正交的平面的中心轴线的旋转、或者向沿着所述第一轴的方向的移动以及绕沿着与所述第一轴正交的平面的中心轴线的旋转。

4.根据权利要求1所述的力传感器，其特征在于，

所述第二基板部具备沿着所述第一轴延伸的2个以上的所述第二支柱部，

各个所述第二支柱部在所述力传感器受到力时弹性变形，使得所述第二基板部和所述第三基板部相对地产生向沿着与所述第一轴正交的平面的方向的移动、或者绕沿着所述第一轴的中心轴线的旋转、或者向沿着与所述第一轴正交的平面的方向的移动以及绕沿着所述第一轴的中心轴线的旋转。

5.根据权利要求1至4中任一项所述的力传感器，其特征在于，

所述第一支柱部形成与所述第一桥梁部及所述第二桥梁部一体化的结构。

6.根据权利要求1至4中任一项所述的力传感器，其特征在于，

所述第一缓和部具有形成在所述第一基板部、所述第一连结部、所述第二基板部及所述第二连结部中的至少一个的1个以上的孔。

7.根据权利要求1至4中任一项所述的力传感器，其特征在于，

所述第二缓和部具有形成在所述第二基板部、所述第二连结部、所述第三基板部及所述第三连结部中的至少一个的1个以上的孔。