[发明专利]钛酸钡钙基无铅压电陶瓷及其制备方法有效
申请号: | 201910435674.7 | 申请日: | 2019-05-23 |
公开(公告)号: | CN110128133B | 公开(公告)日: | 2021-10-08 |
发明(设计)人: | 赵小波;俞胜平;高洪伟;李凯;丁薇薇 | 申请(专利权)人: | 歌尔微电子股份有限公司 |
主分类号: | H01L41/187 | 分类号: | H01L41/187;H01L41/08;C04B35/468;C04B35/622 |
代理公司: | 北京博雅睿泉专利代理事务所(特殊普通合伙) 11442 | 代理人: | 王昭智 |
地址: | 266101 山东省青岛市崂*** | 国省代码: | 山东;37 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 钛酸钡 钙基无铅 压电 陶瓷 及其 制备 方法 | ||
1.一种钛酸钡钙基无铅压电陶瓷,其特征在于,以下列通式I表示:
(1-x-y)Ba0.7Ca0.3TiO3—x(Ba0.95Li0.025Nd0.025)TiO3—yMHfO3-mN;(I)
其中,M为Ba和Ca中的至少一种,N为CeO2、Y2O3、ZnO中的至少一种;
x和y分别表示(Ba0.95Li0.025Nd0.025)TiO3和MHfO3所占化合物(1-x-y)Ba0.7Ca0.3TiO3—x(Ba0.95Li0.025Nd0.025)TiO3—yMHfO3的摩尔百分比,m表示N所占化合物(1-x-y)Ba0.7Ca0.3TiO3—x(Ba0.95Li0.025Nd0.025)TiO3—yMHfO3的质量百分比;
其中,0.005≤m≤0.02;0.1≤x≤0.6;0.02≤y≤0.32。
2.根据权利要求1所述的钛酸钡钙基无铅压电陶瓷,其特征在于:所述钛酸钡钙基无铅压电陶瓷为三方-四方两相共存结构。
3.根据权利要求1所述的钛酸钡钙基无铅压电陶瓷,其特征在于:其中,0.3≤x≤0.5,0.05≤y≤0.25。
4.根据权利要求1所述的钛酸钡钙基无铅压电陶瓷,其特征在于:所述钛酸钡钙基无铅压电陶瓷在室温形成纳米微畴结构。
5.一种根据权利要求1所述钛酸钡钙基无铅压电陶瓷的制备方法,其特征在于,包括以下步骤:
1)配料:以BaCO3、CaCO3、TiO2、Li2CO3、Nd2O3以及HfO2为原料,根据所述钛酸钡钙基无铅压电陶瓷的化学组成进行称量配料;
2)一次球磨:将上述原料混合后进行一次球磨;
3)一次预烧:将一次球磨且烘干后的粉末加热,以进行固相反应;
4)二次球磨:将一次预烧后的粉末进行二次球磨;
5)二次预烧:将二次球磨且烘干后的粉末再次加热,获得纯钙钛矿结构;
6)三次球磨:将二次预烧后的粉末中加入烧结助剂N,并进行三次球磨;
7)压制:将三次球磨后的粉末压制成预定形状的粗坯;
8)烧结:将粗坯加热,获得致密的陶瓷;
9)极化:将陶瓷进行极化,以得到无铅压电陶瓷器件。
6.根据权利要求5所述的制备方法,其特征在于,所述步骤3)的一次预烧温度为1040~1200℃,保温时间为4~6h;所述步骤5)的二次预烧温度为1060~1220℃,保温时间为4~6h。
7.根据权利要求5所述的制备方法,其特征在于,所述步骤2)的一次球磨时间为22~26h,所述步骤4)的二次球磨时间为22~26h,所述步骤6)的三次球磨时间为22~26h。
8.根据权利要求5所述的制备方法,其特征在于,所述步骤8)的烧结温度为1280~1350℃,保温时间为4~6h。
9.根据权利要求5所述的制备方法,其特征在于,在极化之前,在陶瓷的两面进行被银,然后烧银;所述烧银温度为400~600℃,保温时间为20~40min。
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