[发明专利]一种梳齿电容式单轴加速度计在审
| 申请号： | 201910437048.1 | 申请日： | 2019-05-24 |
| 公开（公告）号： | CN111983258A | 公开（公告）日： | 2020-11-24 |
| 发明（设计）人： | 尹休 | 申请（专利权）人： | 尹休 |
| 主分类号： | G01P15/125 | 分类号： | G01P15/125 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 315400 浙江*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 梳齿 电容 式单轴 加速度计 | ||
1.一种梳齿电容式单轴加速度计，包括玻璃衬底、固定极板、敏感质量和止挡结构，其特征在于，所述玻璃衬底的上表面固定安装有固定极板，所述固定极板上挖设有三个呈前后间隔的凹槽，所述固定极板上位于前后两侧的凹槽内各固定安装有一组第一弹性粱单元，所述第一弹性粱单元包括两根左右相互间隔的第一U型梁，所述固定极板上位于中间的凹槽安装固定有第二弹性梁单元，所述第二弹性梁单元包括两根左右相互间隔的第二U型梁，凹槽之间挖设有用于放置敏感质量的放置槽，所述敏感质量、梳齿式极板位于固定极板上放置槽内，所述梳齿式极板一体连接在敏感质量两侧，所述第一弹性粱单元、第二弹性梁单元与敏感质量相连接且位于同一平面内固定极板放置，所述敏感质量通过第一弹性粱单元、第二弹性梁单元与玻璃衬底上的锚点连接，所述玻璃衬底固定安装有止挡结构，所述止挡结构选择为正方形凸台，所述敏感质量上挖设有与止挡结构相匹配的插槽，止挡结构插设在插槽内。
2.根据权利要求1所述的梳齿电容式单轴加速度计，其特征在于，所述第一U型梁形状为U型，第一U型梁由多晶硅通过化学蚀刻工艺制造而成，所述第一U型梁上边长度与下边长度相等。
3.根据权利要求1所述的梳齿电容式单轴加速度计，其特征在于，所述第二U型梁上边长度长于下边长度，第二U型梁由多晶硅通过化学蚀刻工艺制造而成。
4.根据权利要求1所述的梳齿电容式单轴加速度计，其特征在于，所述敏感质量由多晶硅通过化学蚀刻工艺制造。
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