[发明专利]回流高效率有机废气处理系统及其方法

说明书

一种回流高效率有机废气处理系统及其方法，主要将焚烧装置的排气能通过回流热交换器来进行热回收，并将该焚烧装置的排气再通过该回流热交换器和吸附区出口的净气排放管路的排出气体(吸附处理气体)进行热交换，而得以冷却再输送到该废气进气管路，使燃烧后的气体能进入该吸附转轮的吸附区循环利用，而不经过该烟囱来进行排放，让该烟囱的排放量能降低，并使有机废气的处理效率能提升。

技术领域

本发明涉及一种回流高效率有机废气处理系统及其方法，尤其涉及一种用来将燃烧后的气体能进入该吸附转轮的吸附区循环利用，且不用经过该烟囱来进行排放，使有机废气的处理效率能提升，而适用于半导体产业、光电产业或化学相关产业的有机废气处理系统或类似设备。

背景技术

目前在半导体产业或光电产业的制造生产过程中都会产生具有挥发性有机气体(VOC)，因此，在各厂区都会安装处理挥发性有机气体(VOC)的处理设备，以避免挥发性有机气体(VOC)直接排入空气中而造成空气污染。而目前通过该处理设备所脱附的浓缩气体大都是输送到该焚烧炉来进行燃烧，再将燃烧后的气体来输送到烟囱来进行排放。

但是近年来，不管是中央政府或是各地方政府都对空气污染非常重视，也因此在烟囱的排放标准上制定了有关悬浮微粒(PM₁₀)及细悬浮微粒(PM_2.5)空气质量标准，并依据其国内健康影响研究结果，以健康影响为优先考量，将“细悬浮微粒(PM_2.5)”24小时值定为35μg/m³、年平均值定为15μg/m³。且环保署初步订于2020年达成全国细悬浮微粒浓度年平均值15μg/m³的目标，同时将依国际管制趋势发展，逐期检讨其细悬浮微粒(PM_2.5)空气质量标准，并朝达成WHO提出的空气质量标准值(24小时值定为25μg/m³、年平均值定为10μg/m³)为空气质量改善目标。

因此，本发明人有鉴于上述缺陷，期望能提出一种具有提升有机废气处理效率的回流高效率有机废气处理系统及其方法，令使用者可以轻易操作组装，是潜心研思、设计组制，以提供使用者便利性，为本发明人所欲研发的发明动机。

发明内容

本发明的主要目的，在于提供一种回流高效率有机废气处理系统及其方法，主要将焚烧装置的排气能通过回流热交换器来进行热回收，并将该焚烧装置的排气再通过该回流热交换器和吸附区出口的净气排放管路的排出气体(吸附处理气体)进行热交换，而得以冷却再输送到该废气进气管路，使燃烧后的气体能进入该吸附转轮的吸附区循环利用，而不经过该烟囱来进行排放，让该烟囱的排放量能降低，并使有机废气的处理效率能提升，进而增加整体的实用性。

本发明的另一目的，在于提供一种回流高效率有机废气处理系统及其方法，通过该吸附转轮增设一高温脱附区，以用来进行在线运转(ON LINE)时，能将所残留的高沸点有机物(VOC)脱出，让该吸附转轮能恢复其吸附能力，而增加挥发性有机废气的处理效能，并达到减少污染物排放的效果，进而增加整体的使用性。

本发明的再一目的，在于提供一种回流高效率有机废气处理系统及其方法，通过该净气排放管路连接一净气旁通管路，该净气旁通管路的另一端与该烟囱排放管路连接，让该净气排放管路在输送所排出净化后气体时，除了进入该回流热交换器的回流冷侧管路进行热交换外，还能通过与该净气排放管路所连接的净气旁通管路来进行旁通分流，使部分的净化后气体能直接流到该烟囱排放管路再通过该烟囱进行排放，借此，通过该净气旁通管路来让该净气排放管路能形成分流的效能，进而增加整体的利用性。

为了能够更进一步了解本发明的特征、特点和技术内容，请参阅以下有关本发明的详细说明与附图，所附附图仅提供参考与说明用，非用以限制本发明。

附图说明

图1为本发明的第一种实施方式的主要步骤流程图；